超声波扫描显微镜

KSI SAM 2000高分辨超声波扫描显微镜

SAM2000型超声波扫描显微镜是当时世界上分辨率、扫描频率和最快扫描速度的声学显微系统，该系统创新的将一个光学显微镜与超声波扫描显微镜结合在一起，并可以在两种工作模式之间随意切换。光学显微镜和高频超声波扫描显微镜观察的是同一样品相同区域和组织。

该系统是为快速、无损伤地检测材料内部而设计的，如集成电路(IC)或相类似的小型器件。可用在生产和失效分析方面，给出具有高重复性和精细的内在信息，将生产过程中所产生的每一种细微缺陷加以显示出来

超声显微镜规格：
● 样品尺寸：60μm～1mm
● 超声频率：100MHz～2000MHz
● 高频射频单元，高频传感器和接收单元可以从 60MHz～800MHz, 频率选择可以选择100MHz, 200MHz和400MHz, 其他可选的频率。700MHz～2000MHz频率的调整可以是数MHz的步阶调整（根据频率不同，调整步阶也不同）
● 高精度的V(z)线性马达驱动，最小可达0.1μm精确度，软件控制
● 实时扫描并显示图像(标准分辨率512线，最高可达4096线)
● 电动清水装置，可清洗和打湿超声物镜
● 可旋转和倾斜的样品台，150mm×150mm，可抽出式。X/Y方向可移动50mm，有微测头，精度达2μm
● 坚固的人性化设计的平台

光学显微镜的技术参数：
● 包括照明光源模块，自动聚焦镜筒，1×无限远修正光路，可变光圈和2个定中心的控制键
● 双目目镜 FSA-VR/20，双目目镜镜筒用于暗场和亮场，视野范围 28mm
● 最大的光学放大倍率3000X