高分辩衍射仪

仪器简介：

X'PertPRO MRD/XL是高级半导体材料的标准装备，用于： 高级材料科学和纳米技术，半导体材料研究和生产质量控制，可以适用各种应用，尤其适合薄膜分析，例如：摇摆曲线分析和倒易空间Mapping，反射率和薄膜相分析，残余应力和织构分析，X'PertPROMRD/XL满足半导体、LED、薄膜和高级工业材料的所有高分辨XRD分析需要。XL可以满足直径达 300 mm的晶片分析，并有精密的自动晶片装载选择；XL成为薄膜生产发展的先进的分析手段，LED的业界标准。

可以适用各种应用，尤其适合薄膜分析，例如：

振动曲线分析和交互空间图
反射仪和薄膜相分析
残余应力和织构分析

同已经证明的标准版本系统一样，还有许多专门的版本：

X'PertPROMRD平面衍射系统，可以测量与样品表面垂直的晶格衍射
X'PertPROExtendedMRD允许装备X射线镜像和在线高分辨单色器，增强入射光束的强度。
X'PertPROMRDXL满足半导体，薄膜和高级工业材料的所有高分辨XRD分析需要。

技术参数：
1，功率：3kW
2，测角仪重现性：0.0001度
3，测角仪类型：T-2T
4，五维样品台