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意力博通溅射仪ETD-900C

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详细介绍

ETD-900C是一款具有溅射和蒸发两种功能的镀膜设备,由一台ETD900型溅射仪和一个蒸发电源箱及样品室蒸发上盖组成,由电缆将两个机箱中的控制部件连接起来,通过面板上的按键状态,经溅射机箱中的CPU判别操作项,以确定允许与否(具体操作见说明书)。设备使用简便,性能可靠,蒸发材料为碳绳,溅射材料为金、铂等。

型号

ETD-900c

仪器尺寸

400mm×300mm×400mm(L×W×H)

靶(上部电极)

50mm×0.1mm(D×H)

真空样品室

硼硅酸盐玻璃160mm×110mm(D×H)

样品台

50mm(D)

工作电压

0-1200V(DC)可调

溅射电流

0-50mA

溅射定时

1-3600S

蒸碳电流

0-50A(AC)

真空泵

2升机械旋转泵

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