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美国AST光谱反射薄膜分析仪SR300

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详细介绍

 

· 型号:SR300

· 探测器: 2048像素的CCD线阵列

· 光源:高稳定性、长寿命的卤素灯

· 光传送方式:光纤

· 台架平台:特殊处理铝合金,能够很容易的调节样品重量、200mmx200mm的大小

· 软件: TFProbe 2.2版本的软件

· 通讯接口:USB的通讯接口与计算机相连

· 测量类型:薄膜厚度,反射光谱,折射率 

· 电脑硬件要求:P3以上、zuidi50 MB的空间

· 电源:110240V AC/50-60Hz1.5A

· 保修:一年的整机及零备件保修

 

选项

1用于传递和吸收测量的传动夹具(SR300RT) )

2.zuidi可测量直径为5μm(MSP300)

3. 在多个位置下,多个通道用于同时测量(SR300xX)

4. 在超过200300毫米晶片上所进行的统一测绘(SRM300-300/200

 

规格: 

· 波长范围:4001100 nm

· 光斑尺寸:500μm5mm

· 样品尺寸:200mmx200mm或直径为200mm

· 基板尺寸:最多可至50毫米厚

· 测量厚度范围:20nm50μm

· 测量时间:最快2毫秒 

· 精确度:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)

· 重复性误差:小于1Ǻ

 

 

应用:                  

•半导体制造(PROxide, Nitride..) 

•液晶显示(ITOPRcell gap... .. 

医学,生物薄膜及材料领域等

•油墨,矿物学,颜料,墨粉

医药,中间设备

光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... .. 

半导体化合物

MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜

非晶体,纳米材料和结晶硅

………

薄膜物性分析仪器系列(膜厚,光学参数,反射谱及颜色,膜面阻,等)

 

SR100 薄膜分析仪

SR300 薄膜分析仪

SR500 薄膜分析仪

SE200BA 椭偏薄膜分析仪

SE200BM 椭偏薄膜分析仪

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MSP100 薄膜分析仪

MSP300 薄膜分析仪

MSP500 薄膜分析仪

uRaman  TechnoSpex-拉曼光谱仪及模块

 

 


产品优势
• 能够用于实时或在线的厚度、折射率测量
• 系统配备大量的光学常数数据及数据库
• 对于每个被测薄膜样品,用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型(EMA)测量分析;
• 可升级至MSP(显微分光光度计)系统,SRM成像系统,多通道分析系统,大点测量。
• 通过模式和特性结构直接测量。
• 提供的各种配件可用于特殊结构的测量,例如通过曲线表面进行纵长测量。
• 2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。
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