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大面积快速扫描轮廓仪

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详细介绍

n产品介绍

NanoFocus μsprint topographer是一个独立的桌面3D测量系统。机台上的X.Y轴和3D传感器可以提供必不可少的高精度数据采集的稳定性。μsprint设备包含有控制柜、电子设备和PC,还可以根据客户的需求进行定制,如自动放置sample的自动机械手。μsprint软件提供多种扫描和数据分析的功能。通过共聚焦显微镜相结合的μsprintZL原理,真正的3D信息与史无前列的测量速度和记录分析的高准确性。μsprint多通道3D传感器,采集数据的预处理,同时每个通道实时监测到的峰高度并保存测量的峰值强度,因为它代表了表面反射率。从所有途径获取的数据由多通道μsprint的传感器每秒运作8000次,它的运作类似于线检查相机。正因为传感器的高采样率,可以以高速移动的物体或传感器,从而可以在很短的时间内进行大面积扫描。所有采集的高度和强度数据被合并成一个3D地形图像和强度图像。


n应用

1.电子设备:检测对表面磨损,表面粗糙度,表面微结构有要求的零部件

2.半导体:检测微型电子系统,封装及辅助产品结构设计

3.医疗:模具表面检测

4.金属/力学:测试金属摩擦大面积表面

5.钢铁:检测轧辊钢棍在处理前后的表面形貌

6.玻璃/光学:大面积的透镜表面形貌

7.纸张:纸张、钱币表面三维形貌测量



n技术参数

1,原理:多通道、非接触、共聚焦

2,信道数:128

3,采样率(每通道):8000 s-1

4,外形尺寸(LxHxW)260 x 194 x99 mm

5,工作距离:0.5-30 mm

6,高度范围:100μm-2.5 mm

7,扫描宽度:435 μm -2.5 mm

8,扫描深度:8 -200 mm/s

9Z方向的分辨率:0.05-13 μm

10x,y方向分辨率:3.4-17 μm

11,光斑直径:1 μm

12,电源:110/230 V AC, 15 W

13,激光二极管的波长:830 nm


技术资料
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