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微流控芯片高端匀胶机AC200-S-PP
- 品牌:浙江扬清
- 型号: AC200-S-PP
- 产地:杭州
- 供应商报价: 面议
- 浙江扬清芯片技术有限公司 更新时间:2020-01-16 20:50:23
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企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
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- 详细介绍
产品参数
伺服电机控制
支持wafer尺寸:碎片至200mm(8寸圆晶)
转速可调精度:1rpm;转速jing准度:小于±1rpm
旋转加速度:0-50000rpm/sec(空载)
工艺时间设定:0-3000sec/step,时间精度:0.1sec
旋涂作业均匀性:小于±3%在6英寸范围内
单步旋涂及多步旋涂可选,内置100组可编辑匀胶程序
带四只自动点胶端口,可升级自动点胶装置
产品可定制,提高转速稳定性,增加电子水平显示功能
【优势一】伺服电机,功能强大
高精度伺服控制系统,转速jing准至1rpm
点内置100组可编辑匀胶程序,提高工艺重复性
真空负压可调,减少薄片变形,不易破碎
全新套盘更换设计,更方便,更可靠
【优势二】全新设计,旋涂更为均匀稳定
PP外壳设计,HDPE超高分子材料内腔
大尺寸套盘式载物盘,旋转更稳定
内腔深度增加45%,减少腔内气流干扰
增设独立下抽风口,便于控制腔内气流
【优势三】人性化操作,使用灵活,安全可靠
7寸触屏控制面板操作系统,更方便操作
数显压力表实时显示负压,反应灵敏,防止飞片
防进胶设计,避免光刻胶等污染物进入设备内部
互锁感应传感器,确保盖子安全闭合
加强式开合盖采用嵌扣设计,更牢靠,更安全
- 产品优势
- 【优势一】伺服电机,功能强大
高精度伺服控制系统,转速极ng准至1rpm;点内置100组可编辑匀胶程序,提高工艺重复性;真空负压可调,减少薄片变形,不易破碎;全新套盘更换设计,更方便,更可靠。
【优势二】全新设计,旋涂更为均匀稳定
PP外壳设计,HDPE超高分子材料内腔;大尺寸套盘式载物盘,旋转更稳定;内腔深度增加45%,减少腔内气流干扰;增设独立下抽风口,便于控制腔内气流。
【优势三】人性化操作,使用灵活,安全可靠
7寸触屏控制面板操作系统,更方便操作;数显压力表实时显示负压,反应灵敏,防止飞片;防进胶设计,避免光刻胶等污染物进入设备内部;互锁感应传感器,确保盖子安全闭合;加强式开合盖采用嵌扣设计,更牢靠,更安全。