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URE-2000/35型紫外曝光光刻机
- 品牌：浙江扬清
- 型号： URE-2000/35
- 产地：杭州
- 供应商报价： 面议
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浙江扬清芯片技术有限公司
更新时间：2020-01-16 20:50:23 -
企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
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- 详细介绍
技术特点
创新采用三柔性支点实现高精度自动调平
真空接触自动曝光
样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制
采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明
可连续设定分离间隙
采用双目双视场显微镜实现高对准精度
整机具有性能可靠、操作方便、自动化程度高等特点
产品参数
曝光面积：100mm×100mm
分辨力：1um（胶厚1.5μm的正胶）
对准精度：±0.8μm
最大胶厚：300μm（SU8胶）
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
样片尺寸：直径Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)；
照明均匀性：±4%（Ф100mm 范围）
汞灯功率：350W（直流）
掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
- 产品优势
- 创新采用三柔性支点实现高精度自动调平；真空接触自动曝光；样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制；采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明；可连续设定分离间隙；采用双目双视场显微镜实现高对准精度。整机具有性能可靠、操作方便、自动化程度高等特点。
