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HORIBA.AutoSE.全自动快速椭偏仪

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HORIBA.AutoSE.全自动快速椭偏仪 核心参数
波长范围: 450-1000 nm 重复性: ±0.2Å-NIST150ÅSiO₂/Si
详细介绍

AutoSE-一键式全自动快速椭偏仪

全自动化&高集成度&可视化光斑

操作简单,测试快速,为一般操作工人设计

一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE——新型的全自动薄膜测量分析工具。采用工业化设计,操作简单,可在几秒钟内完成全自动测量和分析,并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。

主要特点

1. 液晶调制技术,无机械转动部件,重复性,信噪比高

2. 专利技术成像系技术,所有样品均可成像,对于透明样品,自动去除样品的背反射信号,使得数据分析更简单.

3. 反射式微光斑,覆盖全谱段,利于非均匀样品图案化样品测试

4. 全自动集成度高,安装维护简便

5. 一键式操作软件,快速简单

6. 自动MAPPING扫描,分析样品镀膜均匀性

 

技术参数

1. 光谱范围:450-1000 nm

2. 多种微光斑自动选择

3. 专利光斑可视技术,可观测任何样品表面

4. 自动样品台尺寸:200mmX200mmXYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm

5. 70度角入射

6. CCD探测器


产品优势
全自动化&高集成度&可视化光斑
操作简单,测试快速,为一般操作工人设计
新型的全自动薄膜测量分析工具可在几秒钟内完成全自动测量和分析,并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。
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