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适合ΘX-Z运动的倾斜平移台
- 品牌：
- 型号： ΘX-Z motion
- 产地：法国
- 供应商报价： 面议
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上海科铭仪器有限公司
更新时间：2022-02-09 09:24:45 -
企业性质
入驻年限第9年
营业执照
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- 详细介绍
倾斜平移台采用了2个APA致动器，可以产生两种类型的运动：
?Z当两个致动器同步致动时，轴运动（平移）可达80μm
?当两个致动器相反致动时，ΘX运动（平移）可达+/- 0.6°
倾斜平移台TT60SM基于APA60SM而设计，配备应变计以消除回程差。如果只要求倾斜运动，仅需要一个通道。TT60SM要求使用推拉式驱动器。参数
单位
TT60SM
型号
V- TT60SM
备注
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传感器
SG
主动轴
TZ,RX
最大空载位移[Tz]
um
80.0
角位移[Rx]
mrad(+/-)
11.00
Y方向的最大面外位移
um
25.0
电压范围
V
-20…150
硬度
N/um
2.0
高度(Z 轴)
mm
18.0
宽度(Y 轴)
mm
13.0
长度(X 轴)
mm
25.0
纵向分辨率[Tz]
nm
0.8
角度分辨率[Rx]
urad
0.1
质量
g
65
空载共振频率(在致动方向)
Hz
3000
响应时间
ms
0.17
电容 (每个电气接口)
uF
1.55
机械接口(有效负载)
平坦表面 2.5 *8mm2
机械接口(框架)
2 M2螺纹孔
电气接口
4 PTFE insulated AWG 30 wires 100 mm long withФ1 banana plug
