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德国Heidelberg Heidelberg DWL 66+ 无掩模直写机
- 品牌:德国海德堡
- 型号: DWL 66+
- 产地:德国
- 供应商报价: 面议
- 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 更新时间:2024-03-27 08:51:09
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企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
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- 详细介绍
DWL 66+激光光刻系统是具经济效益的高分辨率图像产生器,适用于小批量掩模板制作和直写需求。该系统的功能和灵活性使其成为Life Science, Advanced Packaging, MEMS, Micro-Optics, Semiconductor以及所有其他需要微结构应用的刻研工具。DWL 66+的客户群包括全球200多所大学和研究机构,许多系统功能是与这些机构合作开发,及先进技术不断改进以增加高分办率:DWL 66+的最小结构尺寸为300 nm,提供了极高的分辨率,优于或等于研发领域中大的光学光刻系统。
基本的DWL 66+包含创造和分析微结构所需的所有功能。它可以用于掩模板制作或直写在任何涂有光刻胶的平坦材料上,多样化选择可提高灵活性,使系统适用于更多应用领域。
- 产品优势
- 科研用激光直写系统
具有多种直写模块,实现不同精度直写需求
能于结构上进行灰度曝光