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FPS 6100多功能掩膜版光刻机
- 品牌:瑞典Mycronic
- 型号: FPS 6100
- 产地:瑞典
- 供应商报价: 面议
- 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 更新时间:2024-04-10 09:45:03
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企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
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- 详细介绍
使多功能光掩模制造
具有无与伦比的灵活性
FPS6100传递的画面质量和生产效率有所提高,符合当下更为先进的多功能市场细分的要求。
许多应用和生产环境可以设置FPS6100:电子包装、触摸屏、滤色镜、精细的金属膜片、3D模具等等。这意味着你可以充分利用现行产品体系,同时瞄准新的商机。
与之前的FPS5500相比,FPS6100能够提供更高的曝光速度以及更优质的画面质量。如果您的FPS系统是老一代的,您可以将它升级至FPS6100系列,不仅节省成本同时提高经营的能力和质量。
主要优势:· 生产效率提高,曝光速度更快,减少辅助操作时间
· 画面质量更优质,更小的成像单位
· 6种曝光水平和干板曝光的平台可扩展性
· FPS5100/5300/5500可升级
技术指标
FPS6100
Lvl 80
Lvl 60
Lvl 40
曝光速度[mm²/min]
525
1250
2600
最小L/S 溶解(pitch/2)
0.75
1.2
2.0
CD均匀性3σ [nm]
30
40
60
套合3σ[nm]
70
85
100
最大掩膜尺寸 [mm]
813x813*
FPS6100
Lvl 25
Lvl 20
Lvl 15
曝光速度[mm²/min]
6000
8000
12000
最小L/S 溶解(pitch/2)
3.5
5.0
7.0
CD均匀性3σ [nm]
80
100
200
套合3σ[nm]
120
140
160
最大掩膜尺寸 [mm]
813x813*
FPS6100E
Lvl 25
Lvl 20
Lvl 15
曝光速度[mm²/min]
5000
8000
12000
最小L/S 溶解(pitch/2)
6.0
8.0
12.0
CD均匀性3σ [nm]
600
700
900
套合3σ[nm]
120
140
160
最大掩膜尺寸 [mm]
813x813*
* 掩膜可伸展尺寸到达可选择的1100×1100 和 900×1200技术指标
FPS6100
Lvl 80
Lvl 60
Lvl 40
曝光速度[mm²/min]
525
1250
2600
最小L/S 溶解(pitch/2)
0.75
1.2
2.0
CD均匀性3σ [nm]
30
40
60
套合3σ[nm]
70
85
100
最大掩膜尺寸 [mm]
813x813*
FPS6100
Lvl 25
Lvl 20
Lvl 15
曝光速度[mm²/min]
6000
8000
12000
最小L/S 溶解(pitch/2)
3.5
5.0
7.0
CD均匀性3σ [nm]
80
100
200
套合3σ[nm]
120
140
160
最大掩膜尺寸 [mm]
813x813*
FPS6100E
Lvl 25
Lvl 20
Lvl 15
曝光速度[mm²/min]
5000
8000
12000
最小L/S 溶解(pitch/2)
6.0
8.0
12.0
CD均匀性3σ [nm]
600
700
900
套合3σ[nm]
120
140
160
最大掩膜尺寸 [mm]
813x813*
* 掩膜可伸展尺寸到达可选择的1100×1100 和 900×1200- 产品优势
- 生产效率提高,曝光速度更快,减少辅助操作时间;
画面质量更优质,更小的成像单位;
6种曝光水平和干板曝光的平台可扩展性;
FPS5100/5300/5500可升级。