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扫描电镜专用原位AFM探测系统
- 品牌:奥地利GETec
- 型号: AFSEM
- 产地:奥地利
- 供应商报价: 面议
- QUANTUM量子科学仪器贸易(北京)有限公司 更新时间:2024-04-16 14:37:20
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企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
- 同类产品表面成像(42件)
联系方式:销售部010-85120280
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- 详细介绍
AFSEM™ —使AFM和SEM合二为一
奥地利GETec公司发布的AFSEM是一款紧凑型,适用于真空环境的AFM产品,能够轻松地结合两种大的分析技术—AFM和SEM为一体,扩展SEM样品成像和分析能力。AFSEM技术与SEM技术的结合,使得人们对微观和纳米新探索新发现成为可能。
SEM结合AFMwan美解决方案:
* 扫描电子显微镜中进行AFM原位分析
* 使用SCL的自感悬臂技术的纳米探针
* 无需激光和探测器,适用于任何样品表面
* 与大多数SEM兼容而不妨碍正常的操作
* AFM和SEM协同并行分析
扫描电子显微镜中进行原位AFM分析
AFSEM技术实现了AFM和SEM的功能性互补,让SEM可以同时实现样品的高分辨率成像,真实的三维形貌,高度,距离测量,甚至是材料的导电性能。做到这一点只需要将AFSEM悬臂探针的位置移动到SEM下需要观察的样品位置进行探测。优化的AFSEM工作流程(几乎没有减少SEM的扫描时间)确保了效率。提供的强大控制软件则允许进行优化和直观的测量、系统处理和数据分析。 将AFSEM集成到一个Zeiss Leo 982扫描电子显微镜中(左),对样品表面进行扫描成像(右),对样品表面进行扫描。当在AFM和SEM成像之间交替时,不需要转移样品或打破真空。使用AFSEM,一切都可以进行内联!
SEM-AFM 协同分析
对于产品或材料分析,通常需要用多种技术分析一个样品或者同一个器件,并寻找参数之间的相关性。如果样品需要使用SEM和AFM这两种的成像技术,就意味着我们需要找到感兴趣的区域并定位它,再拿到另一个设备中寻找这个感兴趣的区域,才能实现对同样的区域进行分析。有什么能比直接把AFM放在SEM里面来的简单呢?
对无支撑石墨烯和石墨烯相关材料进行扫描电镜和AFM原位分析。在低电压扫描电子显微镜下,我们可以对一个悬空的石墨烯薄片的样品进行成像,以确定层数和厚度(a)。然后,利用AFM(b+c)实现更高的分辨率和更好的对比度。
扫描电镜图像(A)、放大的图像(B)和相关的AFM成像(C),测量结果来自FEI Quanta 600 FEG ESEM。
AFSEM可与大多数SEM兼容
AFSEM适用于大多数SEM或双光束(SEM/FIB)系统。可以直接安装在系统腔室的仓门上,同时样品台保持不变。此外,AFSEM采用一种自感应悬臂探针,无需激光与传感器。 AFSEM在电镜中,夹持探针的悬臂梁只需要极靴与样品之间4.5毫米的空间。因此,AFSEM可以与各种标准的SEM兼容,GETec公司能够处理任何兼容SEM系统真空腔内的安装。也正是这种优雅小巧的设计使得扫描电子显微镜能够配合AFM技术实现的亚纳米级的形貌探测。
成功的AFSEM集成的例子(可参见集成SEM列表)。
AFSEM与SEM分析技术紧密配合
由于AFSEM小巧的设计维护了SEM功能的完整性,可以实现与其他标准的扫描电镜分析技术相结合同时使用,如常规FIB、FEBID和EDX,以及SEM中可搭配的拉伸机,应力测试,机械手等等
AFSEM应用案例举例:AFSEM与Deben 200N 拉伸试验台可以同时集成在Philips XL40 SEM实现试样拉伸形变过程的原位观察和形貌探测。这是一个创新的实验解决方案,用来研究拉力作用下金属试样的拉伸形变和颈缩过程中,样品表面形貌和粗糙度的变化。
此外AFSEM™和Hysitron PI85 硬度测试台结合,一同安装在蔡司Leo 982 SEM中,电镜下我们可以实时观察金属表面在硬度计压头的压力下,表面形变,滑移过程。其形变,滑移的形貌变化可以由AFM完成。从AFM的角度来看,自感应悬臂探针可以实现多种探测模式,包括 静态成像、动态成像、相对比、力谱、力调制和导电模式AFM。例如,在飞利浦XL40仪器中,利用扫描电镜成像、EDX的化学分析、AFM的3D形貌和电导分析。 - 产品优势
- * 扫描电子显微镜中进行AFM原位分析
* 使用SCL的自感悬臂技术的纳米探针
* 无需激光和探测器,适用于任何样品表面
* 与大多数SEM兼容而不妨碍正常的操作
* AFM和SEM协同并行分析 - 产品文章