-
-
P-300 Advanced ALD 高 级型原子层沉积机
- 品牌:芬兰Picosun
- 型号: P-300 Advanced
- 产地:芬兰
- 供应商报价: 面议
- 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 更新时间:2024-04-24 09:08:30
-
企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
- 同类产品芬兰 Picosun 原子层沉积机(12件)
联系方式:廖敬强0755-81776600
联系我们时请说明在仪器网(www.yiqi.com)上看到的!
-
为您推荐
- 详细介绍
PICOSUN P-300 Advanced ALD 高 级型原子层沉积机
衬底尺寸和类型:
。156 mm x 156 mm硅片50~100片/批次(双面/背对背)
。高达300 mm x 300 mm玻璃基板10~20片/批次(双面/背对背)
。大批量的3D产品(例如:钟表部件,珠宝,硬 币,医疗植入部件,机械部件等)
。粉末与颗粒
。Roll-to-roll, 衬底最大宽 300 mm
。多孔,通孔,与高深宽比(HAR)样品
工艺温度: 50 - 500 °C基片传送选件:
。气动升降(手动装载)
。半自动装载,用线性装载器实现
。全自动转载,用工业机器人实现前驱体 :
。液态、固态、气态、臭氧源
。前驱源余量传感器,并提供清洗和装源服务
。4根独立源管线,最多加载6个前驱体源重量: 400 + 300 kg
尺寸 :(W x H x D) 149 cm x 191 cm x 111 cm
选件: PICOFLOW™ 扩散增强器,N2发生器,尾气处理器,定制设计,与工厂软件连接服务。
验收标准 :标准设备验收标准为 Al2O3 工艺