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英国Nanobean NB5 电子束光刻机
- 品牌:英国NanoBeam
- 型号: NB5
- 产地:英国
- 供应商报价: 面议
- 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 更新时间:2024-04-10 09:45:03
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企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
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- 详细介绍
英国Nanobean NB5 电子束光刻机
具有良好的稳定性,平均正常运行时间超过93%规格:
束流电压范围为: 20kV - 100kV
光刻胶的特征尺寸: <8nm (光刻精度)
500um区域拼接/叠加误差: 小于25nm
自动装载5卡盘气锁系统
NB5发展目标:
改进设计和组件以减少日常服务需求。
实现每年少于5%的机器故障停机时间。
提高性能
便于批量生产。
NB5系统将为进一步发展高偏转速度和进一步集成电子提供平台。
The nB4 is a generation ahead of the current competition and with its field-proven performance has gained acceptance in the market place. It has excellent stability and has demonstrated an average uptime of greater than 93%. NanoBeam now introduces the nB5 which has been developed to further reduce delivery times and service costs.
NB5 development aims:
Refine design and components to reduce routine service requirements.
Achieve a machine-fault-downtime of less than 5% annually.
Enhance performance
Facilitate volume production.
Specification:Beam Voltage range 20kV - 100kV
Feature size on resist <8nm
Stitching/overlay error <25nm for 500um field
Automatic loading 5 chuck airlock systemThe nB5 system will provide a platform for further development to high deflection speed and further integrated electronics.
- 产品优势
- 具有良好的稳定性,平均正常运行时间超过93%
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