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TF500/TF600 适合先进研发和试生产的全功能系统
- 品牌:英国HHV
- 型号: TF500/TF600
- 产地:英国
- 供应商报价: 面议
- 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 更新时间:2024-03-27 08:51:09
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企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
- 同类产品英国HHV 科研用真空镀膜系统(7件)
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- 详细介绍
HHV TF500及TF600系统设计具有高 级工艺能力。系统配置可选择多种腔室尺寸和工艺附件,以精确的符合用户需求。这两个型号的系统都可以安装多个镀膜源,也都支持离子束处理选项。有一系列预进样室(Load Lock)和样品操纵装置可供选择,以提高真空镀膜效率。
系统配置不锈钢真空腔室,高真空泵安装在腔室后方。工艺附件布局采用特殊设计,向每个客户提供满意适配化的方案。工艺附件包括热阻及电子束蒸发源、直流及射频溅射源、用于工件刻蚀或辅助沉积的离子源。系统可以同时配置热阻、电子束及磁控溅射源。溅射系统可以配置成向上或向下溅射的结构。工件台选项包括加热、冷却、偏压和预进样操作等。
系统控制选项包括稳定的PLC真空控制系统配合手动操作的工艺附件的简单模式,或者计算机集成控制的自动模式。
- 产品优势
- TF500/TF600 适合先进研发和试生产的全功能系统,具有高级工艺能力。系统配置可选择多种腔室尺寸和工艺附件,以精确的符合用户需求。这两个型号的系统都可以安装多个镀膜源,也都支持离子束处理选项。有一系列预进样室(Load Lock)和样品操纵装置可供选择,以提高真空镀膜效率。
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