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原子层沉积系统
- 品牌：北京中科艾科米
- 型号： ALD-V301
- 产地：怀柔区
- 供应商报价： 面议
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中科艾科米（北京）科技有限公司
更新时间：2023-06-25 14:01:23 -
企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
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- 产品优势
- 主要特点
真空反应腔工作温度高达400℃
PID自动控温，带模糊算法自整定
复杂管气路可zui多具备八种前驱体、两路氧化还原气路和三路载气
满足特殊样品（粉末）要求
适合低蒸气压固态源的高温鼓泡器设计，有利于提高反应效率和重复性
反应过程可自行编程，实现不同类型ALD样品生长
全金属密封，适用于腐蚀性反应
实时测控气体流量和监测真空度
在线原位分析气体成分
自带臭氧发生器，反应残留物热分解装置
互联版可与超高真空系统互联，并兼容MBE标准旗型样品托
系统可定制和扩展
