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RTP-滑动式快速退火炉

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RTP-滑动式快速退火炉 核心参数
仪器分类: 坩埚炉
详细介绍


产品应用:

该系列电炉采用红外灯管加热,通过滑动炉体实现快速升降温。应用在半导体、纳米技术、碳纤维、石墨烯生长等新型材料工艺领域。

也同样适用于要求升降温速度比较快的气氛烧结、真空淬火退火及CVD等工艺实验。

 

产品特点:

气路快速连接法兰结构采用本公司独有的知识产权ZG设计,提高操作便捷性;炉体自带超温保护及漏电保护功能,确保设备使用的安全性;

合理的气路支架装置,杜绝了气路总成因自身应力而造成的炉管损坏;炉体移动自动化且有滑动限位功能,避免炉体碰撞;风冷设计,使样品实现快速降温。

产品名称

RTP系列-滑动式快速退火炉

产品型号

RTP-G06123K-H

额定功率

9KW

额定电压

220AC 50/60Hz

最高温度

1000℃

连续工作

950℃(<1 小时)

加热区长度

250mm

恒温区长度

200mm

加热元件

红外灯管

温度控制

国产程序控温系统可编程50段程序控温;

控制精度

±1℃

石英管尺寸

Φ60/Φ80/Φ100mm

炉管材质

石英管

滑动距离

300mm

最大降温速度

900~200℃的降温速度:15min 

最快升温速度

50ºC/S

滑动控制

由温度控制器自动控制炉体移动.  当程序完成,炉体按设定的速度滑动。

流量计

浮子流量计60-600ml/min

滑轨尺寸

360 x1300x265mm

外形尺寸

360x385x595mm

重量

85Kg

标准配置

气路总成一套(含真空压力表)石英管一支、石英堵三个、钩子一把、高温手套一副。


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