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RTP-小型快速退火炉
- 品牌:天津市中环
- 型号: RTP-小型快速退火炉
- 产地:北辰区
- 供应商报价: 面议
- 天津中环电炉股份有限公司 更新时间:2024-04-16 09:12:58
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企业性质生产商
入驻年限第10年
营业执照已审核
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- 详细介绍
产品应用:
该电炉采用红外灯管加热,通过滑动炉体实现快速降温。应用于半导体或太阳能电池基片退火。也可用于快速热退火、
快速热氧化、快速热氮化、硅化物合金退火、电极合金化、氧化物生长、离子注入后退火、薄膜沉积等工艺试验
产品特点:
可在真空/气氛/空气等不同环境下通过快速移动炉体,加之强风冷设计,可对样品进行快速升降温处理;管内测温设计,
温控精度高,最大升温速率50℃/s;紧凑的台式设计,快速连接法兰,减少了炉管因安装造成损坏的可能,方便操作。
产品名称
RTP-小型快速退火炉
产品型号
RTP-G11103-K
额定功率
9KW
额定电压
220AC 50/60Hz
最高温度
1000°C
连续工作
950°C(<1 小时)
加热区长度
300mm
恒温区长度
100mm
加热元件
红外灯管
温度控制
国产程序控温系统可编程50段程序控温;
控制精度
±1℃
石英管尺寸
Φ110*380MM
炉管材质
石英管
滑动距离
355mm
滑动方式
手动滑动
建议升温速度
室温900℃:30℃/sec
900℃~1000℃: 10℃/sec外形尺寸
950 X 350 X 530 mm
重量
45Kg
标准配置
气路总成一套(含真空压力表)石英管一支、高温手套一副。76MM的样品石英架一个。
仪器分类: | 坩埚炉 |