| SAT-12D | 等离子清洗机 主机 |
| 主要应用 | 1.表面清洁 2.表面活化 3.键合 4.去胶 5.金属还原 6.简单刻蚀 7.去除表面有机物 8.疏水实验 9.镀膜前处理等 |
| 主要特点 | 1.实时显示检测样品仓内的真空度 |
| *2.舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料,耐用防腐蚀 | |
| *3.采用电容式等离子激发,处理效果均匀,激发电极板内置样品仓内顶部悬挂 | |
| *4.手动,自动两种模式任意切换 | |
| 5.程序化设计,预先编辑好程序,仪器自动完成实验 | |
| 6.控制系统:采用触摸屏+内置计算机控制 | |
| 7.无需任何耗材,使用成本低,无需特殊进行维护,在日常使用中保持仪器清洁即可 | |
| 技术规格 | 舱体尺寸: 230X230X230mm,容积:12升 |
| 样品托盘尺寸:205*205MM | |
| 射频频率: 13.56MHz | |
| 射频功率: 300W,10到300W无极可调,精度:1瓦 | |
| 电源: ~220V 电流: 1.2A | |
| 时间设定:1秒到99分59秒 | |
| 气体稳定时间:1分钟 气路设置:内置气体质量控制器(MFC)双气路 | |
| 外形尺寸: 约550mmX550mmX600(高)mm | |
| 基本配置 | 主机 真空软管 样品托盘 说明书 电源线 真空系统 油雾器 |
| VRD-8 | 抽气速率:8立方米/小时(2.2升/秒) |
| 工业真空泵 | 极限真空:0.05Pa |
| 功率:400瓦 | |
| 重量:21Kg | |
| YG-25 | 使用范围:1.5--5.5升/秒 |
| 油雾器 | 外形尺寸:134*直径64 |
| 接口:KF25法兰 |
上传人:赛奥特(北京)科技有限公司
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