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PSM等离子体质量和能量分析质谱仪

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详细介绍

产品简介

PSM等离子体质量和能量分析质谱仪

PSM是一台差式泵质谱仪(In-Line Plasma Analysers for Neutrals, Radicals and Ion Analysis),分析等离子过程中的二次离子和中性粒子。


技术参数

灵敏度高 / 极稳定的3级过滤四极杆

质量数范围:     0 ~ 2500amu

脉冲离子计数检测器,7个数量级的动态范围

能量分析选件,标准 ±100eV(1000eV可选 )

Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可选, 高压操作可选
​通过RS232、RS485或Ethernet LAN ,软件MASsoft 控制



产品优势
1.差式泵歧管,通过法兰与过程反应室连接;
2.电子附着选件,具有可调谐的离子源,用于表观电势MS;
3.Penning规和互锁装置可提供过压保护;
4.信号选通分辨率1μs,用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布VS时间;
5.标准分析中性粒子、自由基,+ve / -ve 离子分析可选 。
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