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高级朗缪尔探针（Langmuir Probe）
- 品牌：Hiden Analytical
- 型号： ESPion
- 产地：英国
- 供应商报价： 面议
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北京英格海德分析技术有限公司
更新时间：2021-12-23 16:54:49 -
企业性质授权代理商
入驻年限第7年
营业执照已审核
- 同类产品等离子体-材料表面(18件)
联系方式：13910904182010-52722415
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- 详细介绍
- 仪器简介：
ESPion高级朗缪尔探针（AdvancedLangmuirProbesforElectricalPlasmaCharacterisation）可快速、可靠、精确地进行等离子体诊断，是zuixianjin可靠的朗缪尔探针（LangmuirProbe）。
技术参数：
应用：
蚀刻/沉积/ 清洁等离子体
脉冲等离子体操作
离子密度 (Ni & Gi)
电子温度(Te)
电子能量分布(EEDF)
电子密度(Ne)
等离子体电位
Debye 长度,悬浮电位
主要特点：
获得数据速度：每秒15次扫描，通过D-O-E-界面可以自动、半自动或手动分析
Hiden在被动射频补偿方面处于领xian地位，在所有的商业化探针中 ESPion 具
有最高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm)
高温等离子体操作时的气体制冷多感应器链，使用者可调谐至其他频率
参考探针补偿用于抵制较低频率影响，例如等离子体电位漂移(例如，反应室
内腔阳极氧化所致) 或噪音(例如，供电源引起)
ESPion 是所有商业化探针中最快速的脉冲等离子体探针，ESPsoft 包括所有
必需的标准脉冲选通电路
300、600、915mm 自动线性驱动器可选，互锁隔离阀， 90°探针，组合式
线性－旋转驱动器可选
自清洗循环，防止探针污染
经由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft软件控制
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