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等离子设备
- 品牌：德国Diener
- 型号： Tetra 30 PC / PCCE
- 产地：德国
- 供应商报价： ¥ 100000
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北京中兴百瑞技术有限公司
更新时间：2020-11-18 10:26:47 -
企业性质
入驻年限第9年
营业执照
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- 详细介绍
Tetra 30 等离子系统主要应用于以下领域：
分析 (REM, TEM)
考古
汽车行业
生物技术
弹性体技术
电子技术
电子显微镜
精密工程
研究和开发
半导体技术
小批量生产
塑料技术
医疗技术
微系统技术
太阳能电池技术
纺织技术
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概况介绍 TETRA 30
基本设备
根据具体组件/选装件，外壳规格会有所不同
腔室容积：根据具体版本，分为 34 - 57 升
供电电源： 230 V 或者 400 V / 3 相位
气源
质量流量控制器 (MFCs)
真空腔室
矩形不锈钢件，配有铰链的门
（约宽 305 mm、高 300 mm x 深 370 mm 或者 625 mm）
装载件
产品支架（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃
电极
单层或多层
具有气体喷淋的 RIE 电极
控制系统
PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE)
PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)
压力测量
Pirani
Baratron（适用于腐蚀性气体版本）
计时器
数字型
发生器
频率： 40 kHz: 功率 0 - 1000 W；0 - 1500 W；0 - 2500 W 13.56 MHz: 功率 0 - 300 W；0 - 600 W 2.45 GHz: 功率 0 - 600 W；0 - 1200 W 所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型
真空泵
规格和制造商均各有不同（按照活性炭过滤器的需要）
其他选项
备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、Faraday Box、等离子体聚合配件、测试墨水、 氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。
