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离子溅射仪 MC1000
- 品牌:日立
- 型号: MC1000
- 产地:日本
- 供应商报价: 面议
- 似空科学仪器(上海)有限公司 更新时间:2024-03-22 19:56:30
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企业性质授权代理商
入驻年限第7年
营业执照已审核
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- 详细介绍
产品介绍:
采用磁控型电极,zui大限度地减轻对样品的损坏。
特色采用LCD触摸屏,可以更加简便地设定加工条件
可处理较厚或较大的样品(选配件)
记忆功能可存储常用加工条件
规格
项目 说明 放电 类型 磁控二极管放电型(电场垂直于磁场) 电极组成 反向平行盘(嵌入磁铁) 电压 zui大 0.4 kV DC(直流可变) 电流 zui大 40 mA DC 喷镀速率 *1(zui大)
[条件]
压力:7 Pa
放电电流:40 mA
标靶与样品表面之间的距离:20 mmPt 靶(选配件) 15 nm/min Pt-Pd 靶(选配件) 20 nm/min Au 靶(选配件) 35 nm/min Au-Pd 靶(选配件) 25 nm/min 样品尺寸 zui大直径 φ60 mm zui大高度 20 mm 机械泵 135/162 l/min (50/60Hz) 靶材*2 Pt , Pt-Pd (8:2) , Au , Au-Pd (6:4) 电源要求 单相, 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz), 3-针插头线缆(3 m) 尺寸 宽度 450 mm 长度 391 mm 高度 390 mm 重量 主机:约 25 kg
机械泵:约 28 kg*1: 喷镀速率仅供参考
*2: 主机内不包括靶材。请从选项中选择(铂,铂-钯,金,金-钯)。
- 产品优势
- 采用磁控型电极,ZD限度地减轻对样品的损坏。