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扫描电子显微镜 FlexSEM 1000

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扫描电子显微镜 FlexSEM 1000 核心参数
电子枪: 钨灯丝
详细介绍

Hitachi的扫描电子显微镜 FlexSEM 1000「先进的SEM设计得更加紧凑」 只有45厘米宽的紧凑型设计,实现了4.0 nm的分辨率。 全新开发的用户界面和电子光学系统,使性能大幅提升。


特色
    • 紧凑型设计,分辨率为4 nm*1

    • 通过高灵敏度二次电子探测器,背散射探测器,低真空探测器(UVD*2),实现低加速电压/低真空下高质量图像观察

    • 操作简捷,即使新手也能拍出高质量的图片

    • 新开发的导航功能「SEM MAP」,便于快速锁定视野

    • 大窗口(30 mm2)SDD能谱系统,便于快速分析元素成分*2

  • *1

  • 设置在桌面时,分离主机和电源箱

  • *2

  • 选配


规格
项目内容
分解能*34.0 nm @ 20 kV (SE:高真空模式)
15.0 nm @ 1 kV (SE:高真空模式)
5.0 nm @ 20 kV (BSE:低真空模式)
加速电压0.3 kV ~ 20 kV
放大倍率6× ~ 300,000× (底片倍率)
16× ~ 800,000× (显示倍率)
低真空模式真空范围:6 ~ 100 Pa
电子枪预对中钨灯丝
样品台3-轴自动马达台
X:0 ~ 40 mm, Y:0 ~ 50 mm, Z:5 ~ 15 mm
R:360°, T:-15° ~ +90°
最大样品尺寸直径80 mm
最大样品高度40 mm
尺寸主机:450(W) x 640(D) x 670(H) mm
供电单元:450(W) x 640(D) x 450(H) mm
探测器选配
  • 高灵敏度低真空二次电子探测器(UVD)

  • 能量分散型X线探测器(EDS)

  • *3

  • 主机与供电单元组合使用

  • *

  • PC、桌子、机械泵、显示器需要本地采购

 


产品优势
Hitachi的扫描电子显微镜 FlexSEM 1000「先进的SEM设计得更加紧凑」
只有45厘米宽的紧凑型设计,实现了4.0 nm的分辨率。
全新开发的用户界面和电子光学系统,使性能大幅提升。
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