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Filmetrics 膜厚测量仪 膜厚测试仪

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详细介绍

Filmetrics F50 光学膜厚测量仪

膜厚测量仪 膜厚测试仪



选择 Filmetrics 的优势
嵌入式在线诊断
免费离线分析软件
精细的历史数据功能,帮助用户有效的存储,重现与绘制测量结果


免费现场演示/支持
点几下鼠标就可以在网络上在线看到现场演示!请联系我们,我们的应用工程师会在电脑上为你演示薄膜测量是多么容易!


自动化薄膜厚度绘图系统
依靠 F50 先进的光谱测量系统,可以很简单快速地获得最大直径 450 毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用 r-θ 极坐标移动平台,可以非常快速的定位所需测试的点并测试厚度,测试非常快速,大约每秒能测试两点。用户可以自己绘制需要的点位地图。 F50 系统配置高精度使用寿命长的移动平台,确保能够做成千上万次测量。

系统中预设了极坐标形、方形和线性的图形模式,也可以编辑自己需要的测试点。只需掌握基本电脑技术便可在几分钟内建立自己需要的图形模式。


可测样品膜层
基本上所有光滑的。非金属的薄膜都可以测量。可测样品包括:
氧化硅 氮化硅 类金刚石 DLC
光刻胶 聚合物 聚亚酰胺
多晶硅 非晶硅 硅


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