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在线椭偏仪 In-situ series
- 品牌:日本堀场
- 型号: In-situ series
- 产地:法国
- 供应商报价: 面议
- 广东检测技术有限公司
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企业性质
入驻年限第10年
营业执照
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- 详细介绍
- 仪器介绍:
在镀膜或刻蚀的过程中,实时监测样品膜的膜厚以及光学常数(n,k)变化。
技术参数:
可实现快速、实时在线监测样品膜层变化
主要特点:
将激发和探测头引入生产设备,可实现:
动态模式:实时监测膜厚变化
光谱模式:监测薄膜的界面和组分
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