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德国BMT WLI LA 白光干涉仪

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详细介绍

WLI LA 白光干涉仪

德国BMT WLI LA 白光干涉仪比使用显微物镜的设备可测面积大得多,同时具有非常高的数值孔径。非常适于平整度测量。

特点:

● 表面轮廓和平整度测量;

粗糙和光滑表面均可测量;

测量不受颜色和材料影响;

数秒内完成测量;

测量范围大。


技术参数:
适用于较大面积平面的表面结构形状测量
测量头

光源 LED

测量范围 (μm) 100/150

垂直分辨率(nm) ≥1

横向分辨率(μm) 30

测量面积 (mm) 14×10

工作距离 (mm) 24

数码相机<14位(Pixel) 1392×1040

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