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美国MTI 测量硅片几何参数(TTV/BOW/WARP/FLATNESS)

品牌：美国MTI Instruments
型号： MTI 200SA/300/300SA
产地：美国
供应商报价：面议

赛伦科技（北京）有限责任公司更新时间：2021-04-14 19:14:17

企业性质生产商

入驻年限第10年

营业执照已审核

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详细介绍

公司简介：

美国MTI公司为半导体行业硅片几何参数测量技术-电容探头领域的佼佼者，与昔日的ADE齐名：为世界半导体业硅片几何参数测量的标准测试设备；为纳斯达克上市企业。

仪器简介：

主要参数：

1. Diameter: 150mm,200mm,300mm

2. Material: All semiconducting,and semi-insulating matrrials

3.Surfaces: As-Cut, Lapped, Etched,Polished,Patterned; Bare wafer/Quartz Base,Tape

4.Thickness: (ASTM F533),Range-+/-500um;Accracy-+/-0.25um; Repeatability-0.050um

5.TTV: (ASTM F533) Range-+/-500um; Accuracy-+/-0.050um; Repeatablity-0.050um

6.Bow:(ASTM F1390) Range-+/-250um; Accuracy-+/-2.0um; Repeatabiligy-0.75um

7.Flatness(Global)(ASTM F1530) Rang:8mm; Accuracy-+/-0.05um; Repeatbility-0.030um

8.Flatness(Site)(ASTM F1530) Rang:8mm; Accuracy: +/-0.05um; Repeatbiligy:0.030um

设备：
Proforma 300SA：半自动ZUI大12寸晶圆几何参数测量仪；

Proforma 200SA：半自动型ZUI大8寸晶圆几何参数测试仪；

测试数据/结果例子：

23-Sep-2013

Wafer Summary Report

Page:

1.00

Operator:

Administrator

Lot Number:

DK Wafer 200mm

Passed:

Measurement Date:

09/23/2013

Recipe:

200mm,33,m,1notch,1-29-13 1 run

Failed:

Measurement Time:

17:51:58

Yield:

100.0

Wafer

Center

Avg

Min

Max

3PT

LSQ

3PT

LSQ

Max

% Sites

Number

Thickness

TTV

Bow

Warp

Sori

GBIR

GF3R

GFLR

GBID

GF3D

GFLD

SBIR

SF3R

SFLR

SFQR

SBID

SF3D

SFLD

SFQD

Passed

(uM)

Low Limit

High Limit

1.00

shiny side

729.56

729.15

728.83

729.65

0.82

-0.20

-2.21

18.32

17.74

17.72

0.82

0.76

0.75

0.82

0.63

0.48

0.29

0.30

0.13

0.21

0.20

0.07

100.00

2.00

dull side

729.60

729.14

728.77

729.73

0.96

3.85

5.59

17.34

17.32

17.56

0.96

0.77

0.96

0.64

0.54

0.32

0.34

0.19

0.26

0.25

0.13

100.00

3.00

shiny side

729.52

729.10

728.77

729.61

0.84

0.33

-1.55

16.75

17.30

17.27

0.84

0.75

0.74

0.84

0.61

0.48

0.34

0.33

0.13

0.19

0.09

100.00

4.00

dull side

729.54

729.10

728.76

729.68

0.92

3.29

5.34

17.21

17.29

17.53

0.92

0.79

0.76

0.92

0.61

0.53

0.29

0.27

0.28

0.18

0.27

0.26

0.10

100.00

Minimum

729.52

729.10

728.76

729.61

0.82

-0.20

-2.21

16.75

17.29

17.27

0.82

0.75

0.74

0.82

0.61

0.48

0.29

0.27

0.28

0.13

0.19

0.07

100.00

Maximum

729.60

729.15

728.83

729.73

0.96

3.85

5.59

18.32

17.74

17.72

0.96

0.79

0.77

0.96

0.64

0.54

0.34

0.19

0.27

0.26

0.13

100.00

Average

729.56

729.12

728.78

729.67

0.89

1.82

1.79

17.41

17.52

0.89

0.77

0.76

0.89

0.62

0.51

0.31

0.16

0.23

0.10

100.00

Std Dev

0.030

0.022

0.028

0.044

0.056

1.772

3.681

0.573

0.190

0.162

0.056

0.015

0.012

0.056

0.014

0.025

0.022

0.029

0.025

0.032

0.029

0.030

0.021

0.000

200SA/300SA操作界面，3D图形貌显示

技术参数：

1. Diameter: 150mm,200mm,300mm

2. Material: All semiconducting,and semi-insulating matrrials

3.Surfaces: As-Cut, Lapped, Etched,Polished,Patterned; Bare wafer/Quartz Base,Tape

4.Thickness: (ASTM F533),Range-+/-500um;Accracy-+/-0.25um; Repeatability-0.050um

5.TTV: (ASTM F533) Range-+/-500um; Accuracy-+/-0.050um; Repeatablity-0.050um

6.Bow:(ASTM F1390) Range-+/-250um; Accuracy-+/-2.0um; Repeatabiligy-0.75um

7.Flatness(Global)(ASTM F1530) Rang:8mm; Accuracy-+/-0.05um; Repeatbility-0.030um

8.Flatness(Site)(ASTM F1530) Rang:8mm; Accuracy: +/-0.05um; Repeatbiligy:0.030um

主要特点：

技术资料

美国MTI 测量硅片几何参数(TTV/BOW/WARP/FLATNESS)产品样册

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