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聚束科技(北京)有限公司
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高通量(场发射)扫描电镜Navigator-100

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高通量(场发射)扫描电镜Navigator-100 核心参数
电子枪: 场发射 加速电压: 0.1-12kv
放大倍数: 500X - 600,000xX(SEM) 分辨率: 2.0nm@10kv,2.5nm@3kv,3nm@1kv
详细介绍

高通量(场发射)扫描电子显微镜  Navigator-100

Navigator-100高通量场发射扫描电子显微镜,专为跨尺度大规模样品SEM表征分析而设计,广泛应用于科研及工业等领域。其自动化超高速的纳米成像技术,为您提供超凡的成像体验。

-产品介绍

聚束科技独立研发并拥有自主知识产权的Navigator-100高通量(场发射)扫描电子显微镜,通过对成像技术、运动平台、电路控制及智能算法的系统化创新设计,实现了全球最高通量成像,成像速度可达到传统电镜的数十倍以上。其全部采用直接电子探测器的技术方案,成功克服了传统SEM技术在速度、精度和样品损伤等方面的局限性,颠覆性地将扫描电镜从传统意义上的纳米“照相机”提升为纳米“摄像机”。同时操作简单,全自动一键换样,7*24小时无人值守运行,全面提升科研效率。

我们将成熟的工业化高通量电镜检测技术应用在生命科学、材料研究、半导体工业、地质资源等领域。尤其在神经生物学3D重构、材料大面积表征分析、半导体反向工程、纳米技术分析等应用领域有显著优势。

极速成像

通过自主研发的硬件和软件设计,实现全球最快二次电子与背散射电子双通道同步成像:视频级高分辨成像2×100M像素/秒),6秒钟即可拍摄一张6亿像素超高清图像(区域:50μm×50μm分辨率:24K×24K )。相较传统意义扫描电镜,其扫描速度高出一个数量级以上。

高清视频级摄像帧率(2×200帧/秒@512×512,或2×60帧/秒@1024×1024),使其具有实时观测样品动态变化的能力。

高成像质量

独特的浸没式电磁复合物镜系统,有效地减小低落点能量下物镜的象差,达到极高分辨能力(1.5nm @ 1 kV  1.0nm @ 5 kV)。

与物镜场复合的静电式扫描偏转系统,相比于传统电镜的磁偏转系统,极大地减小图像边沿畸变,可获得兼具高分辨率和大视野(pixel size 2nm@Field of view 50um,水平畸变1/1000以下,垂直畸变1/10000以下)的完美图像

In-Lens SE与BSE半导体直接电子探测器,双通道同时高速成像,兼具高灵敏度和高信号电子收集效率,即使在nA级别的大束流条件仍可获得极佳的图像衬度和信噪比。

配备主动补偿系统(激光干涉振动补偿、电磁干扰主动补偿),消除环境因素干扰,保证成像高分辨率高质量。

跨尺度大规模成像

超高速扫描成像能力,结合全自动聚焦跟踪系统和A.I.图像处理算法,实现对超大区域(150mm*150mm)样品进行高分辨率全自动不间断矩阵式扫描,并自动拼接获得大尺寸纳米级分辨率的全景地图式成像,使之具备了跨尺度信息融合能力,可实现从纳米级到毫米级的跨尺度材料表征。

智能分析

大数据智能分析 ,海量SEM图像快速生成数据分析报告;

智能图像处理,定制化图像测量、统计、分析。

操作简单

全自动样品载入与导航,一键完成样品更换,操作便捷,节省工时。大场光学成像导航与SEM成像无缝衔接,对指定区域快速准确实现定位和观测。

7*24小时全自动化无人值守运行能力。



产品优势
Navigator-100高通量场发射扫描电子显微镜,专为跨尺度大规模样品SEM表征分析而设计,广泛应用于科研及工业等领域。其自动化超高速的纳米成像技术,为您提供超凡的成像体验。
  •   扫描电镜是一种超高速、高分辨、全自动、快速成像、场发射电子显微分析设备,在IT行业计算机、半导体、互联网

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