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光学NanoGauge C13027-12

品牌：日本滨松
型号： C13027-12
产地：日本
供应商报价：面议

滨松光子学商贸（中国）有限公司更新时间：2024-02-04 13:42:48

企业性质生产商

入驻年限第9年

营业执照已审核

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联系方式：滨松客服400-074-6866

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详细介绍

详细参数

型号	C13027-12
可测膜厚范围（玻璃）	10 nm to 100 μm*1
测量可重复性（玻璃）	0.02 nm2 3
测量准确性（玻璃）	±0.4 %3 4
光源	Halogen light source
光斑尺寸	Approx. φ1 mm*3
工作距离	10 mm*3
可测层数	Max. 10 layers
分析	FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis, Color analysis
测量时间	3 ms/point*5
光纤连接头	FC
外部控制功能	RS-232C, Ethernet
电源	AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz
功耗	Approx. 80 VA
测量波长范围	400 nm to 1100 nm

● 输出信号
模拟输出：0 V至10 V /高阻抗3通道（多达三层结构）
报警输出：TTL /高阻抗1通道
警告输出：TTL /高阻抗1通道
● 输入信号
测量启动信号：TTL /高阻抗1通道

*1 转换时玻璃的折射率是1.5
*2 测量400 nm玻璃薄膜厚度时为标准偏差（公差）
*3 取决于光学系统或物镜放大倍数
*4 测量保证范围同VLSI标准测量保证文件一致
*5 最短曝光时间

产品特性

● 支持PLC连接

● 缩短循环时间（最大200 Hz）

● 可测量10nm极薄薄膜厚度

● 同时测量薄膜厚度与颜色

● 安装所占空间大幅缩小（与C12562相比，安装所占空间减少30%）

● 波长覆盖范围宽（400 nm - 1100 nm）

● 软件中新增简化测量法

● 可进行表面分析

● 非恒定膜层的精确测量

● 分析光学常数（n, k）

● 作图功能

尺寸信息

产品优势

C13027型光学纳米膜厚测量系统是一款利用光谱干涉法测量薄膜厚度的非接触式测量系统。C13207不仅支持PLC连接，而且其设计尺寸比其他型号更紧凑，便于设备安装。Optical Gauge系列不仅能够测量10纳米以下极薄薄膜的厚度，而且还具有超宽测量范围，可以覆盖从10纳米到100微米的各种薄膜厚度。 Optical Gauge系列可以进行高达200 Hz的快速测量，因此非常适合高速生产线测量。

技术资料

光学NanoGauge C13027-12产品样册

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