仪器网

欢迎您: 免费注册 仪器双拼网址:www.yiqi.com
首页-资讯-资料-产品-求购-招标-品牌-展会-行业应用-社区-供应商手机版
官方微信
仪器网-专业分析仪器,检测仪器平台,实验室仪器设备交易网 产品导购
VIP企业会员服务升级
仪器/ 产品中心/ 物性测试仪器/ 测厚仪/ 薄膜测厚仪/ 微米膜厚测量仪 C11011-01W
收藏  

微米膜厚测量仪 C11011-01W

联系方式:滨松客服400-074-6866

联系我们时请说明在仪器网(www.yiqi.com)上看到的!

为您推荐
详细介绍
详细参数
型号 C11011-01W
可测膜厚范围(玻璃) 25 μm to 2900 μm*1
光源 Infrared LD (1300 nm)
光斑尺寸 Approx. φ60 μm*4
工作距离 155 mm*4
可测层数 1-layer
分析 Peak detection
测量时间 22.2 ms/point*5
外部控制功能 RS-232C, PIPE
电源 AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz
功耗 Approx. 50 VA
接口 USB 2.0 (Main unit - Computer)
可测膜厚范围(硅) 10 μm to 1200 μm*2
测量可重复性(硅) 100 nm*3
测量准确度(硅) < 500 μm: ±0.5 μm, > 500 μm: ±0.1 %*3

*1:与玻璃折射率相同

*2:与硅折射率相同

*3:测量硅时的标准偏差

*4:可选配1000mm工作距离的模型C11011-01WL

*5:最短曝光时间

产品特性

● 利用红外光度测定进行非透明样品测量


● 测量膜厚范围(玻璃):25μm-2900μm


● 测量速度高达60 Hz


● 可测量层数:1层


● 测量带图纹晶圆或者带保护膜的晶圆


● 工作距离长


● 作图功能


● 可外部控制

外形尺寸(单位:mm)


产品优势

C11011-01W型光学微米膜厚测量仪利用激光相干度量学原理,测量速度达60Hz,适用于产品线上在线测量。此外,与Mapping工作台联用可以测量指定样品的厚度分布。C11011-01W应用广泛,比如用于产品制造过程监控或质量控制。


C11011-01W测量玻璃膜厚范围分别为25 μm 到 2900 μm 和10 μm 到1200 μm。


技术资料
厂商相关其他产品
X您尚未登录
账号登录
X您尚未登录
手机动态密码登录
X您尚未登录
扫码登录
在线留言
官方微信

仪器网微信服务号

扫码获取最新信息


仪器网官方订阅号

扫码获取最新信息

在线客服

咨询客服

在线客服
工作日:  9:00-18:00
联系客服 企业专属客服
电话客服:  400-822-6768
工作日:  9:00-18:00
订阅商机

仪采招微信公众号

采购信息一键获取海量商机轻松掌控