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微米膜厚测量仪 C11011-01
- 品牌:日本滨松
- 型号: C11011-01
- 产地:日本
- 供应商报价: 面议
- 滨松光子学商贸(中国)有限公司 更新时间:2024-02-04 13:42:48
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企业性质生产商
入驻年限第9年
营业执照已审核
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联系方式:滨松客服400-074-6866
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- 详细介绍
- 详细参数
型号 C11011-01 可测膜厚范围(玻璃) 25 μm to 2200 μm*1 光源 Infrared LD (1300 nm) 光斑尺寸 Approx. φ60 μm*4 工作距离 155 mm*4 可测层数 1-layer 分析 Peak detection 测量时间 16.7 ms/point*5 外部控制功能 RS-232C, PIPE 电源 AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz 功耗 Approx. 50 VA 接口 USB 2.0 (Main unit - Computer) 可测膜厚范围(硅) 10 μm to 900 μm*2 测量可重复性(硅) 100 nm*3 测量准确度(硅) < 500 μm: ±0.5 μm, > 500 μm: ±0.1 %*3
*1:与玻璃折射率相同
*2:与硅折射率相同
*3:测量硅时的标准偏差
*4:可选配1000mm工作距离的模型C11011-01WL
*5:最短曝光时间产品特性● 利用红外光度测定进行非透明样品测量
● 测量速度高达60 Hz
● 测量带图纹晶圆和带保护膜的晶圆
● 长工作距离
● Mapping功能
● 可外部控制
●可测量层数:1层
● 玻璃膜厚测量范围:25 μm~2200 μm
外形尺寸(单位:mm) - 产品优势
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C11011-01型光学微米膜厚测量仪利用激光相干度量学原理,测量速度达60Hz,适用于产品线上在线测量。此外,与mapping工作台联用可以测量指定样品的厚度分布。C11011-01应用广泛,比如用于产品制造过程监控或质量控制。
C11011-01可测玻璃膜厚范围分别为25 μm 到2200 μm 和 10 μm 到 900 μm.
- 技术资料
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