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蚀刻用等离子体
- 品牌：德国relyon plasma
- 型号： SKYDLIT
- 产地：德国
- 供应商报价： 面议
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科睿设备有限公司
更新时间：2023-06-26 10:47:00 -
企业性质生产商
入驻年限第5年
营业执照已审核
- 同类产品等离子体技术(8件)
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- 详细介绍
蚀刻用等离子体
在大气压下，能够进行有机膜、无机膜的蚀刻工序。
显示器、手机、半导体、玻璃、薄膜、聚合物等
目前为止，有机膜、无机膜的蚀刻工序只有在真空腔体内才可进行，但使用本产品可在大气压中进行蚀刻。.
该产品采用特殊设计的等离子头和放电系统，在大气压中实现等离子放电，可有效去除有机膜、无机膜（蚀刻、去垢），来降低生产时出现的不良率。.
[ 特殊工序用etching/ashing/discum]
特点1. 在大气压下，进行蚀刻、去垢、去除PR膜残留
– 模组安装时无需更改生产线，有效提升产能。应用范围1. 应用范围
– Over deposition metal etching
– A-Si / Poly-Si / PI / PR ashing
– Si / SiO2 selective etching- 产品优势
- 在大气压下，能够进行有机膜、无机膜的蚀刻工序。
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