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等离子清洗机 YSP63FA
- 品牌：日本雅马拓
- 型号： YSP63FA
- 产地：日本
- 供应商报价： 面议
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江苏米立特科学仪器有限公司
更新时间：2021-10-21 08:23:22 -
企业性质一般经销商
入驻年限第3年
营业执照已审核
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- 详细介绍
- 可进行样品传输系统定制
● 操作快捷方便：放入样品收纳盒、自动处理、取出收纳盒。
● 软性基板也可以进行传送操作。
● 传送速度可在Hi-Low间调节。
● 可通过网络进行远程操作（选购品）。
规格
型号
YSP63FA
模式
RIE（DP模式选购）
高频输功率
600W
反应台尺寸
W385×D362mm
内腔尺寸
W395×D378×H45mm（内尺寸）
反应气体
2进气系统（氧气、氩气）
反应气体流量控制
质量流量控制器
真空泵
旋转式真空泵（约500L/min）
气体导入口
反应气体2个、填充气体1个、空气1个
外形尺寸
W1860×D1100×H1800mm
