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平面显示器(FPD)大尺寸样品专用测试仪

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详细介绍

产品特点:

从规划设计、开发制造、到现场安装调整及教学支援等,皆秉持一贯的品质自行完成。

面对市场多元化的需求,以优异的技术、丰富的实绩、安心的售后服务,提供最完善的膜厚解析方案。

显示器面板膜厚分析设备FEseries:

解析面板显示器制程中持续进化的各种薄膜:

高精度测量各种玻璃基板上的多层膜及光学常数。zuixin的10代基板尺寸,LCD、TFT、PDP、OLED(有机EL)等制程所需的膜层解析皆有完整的解决方案。


用途:

LCDITO/GlassPI/OC/GlassCF/GlassResist/Glass
TFTSiN/a-SI/Glass
OLEDOLED/ITO/Glass
PDP诱电体层/Glass

半导体膜厚分析设备FEseries:

对应φ300mm晶圆的全自动搬送系统:

可搭配各种Load/Unload搬送规格,从R&D到生产线皆可灵活运用的膜厚解析系统。1件样品中,测量5个点位仅需30秒以下的高速膜厚评价。


应用:

Si半导体晶圆膜SiO2/SiResist/SiSiO2/a-SiSiO2/SiN/SiO2
半导体膜TEOSSiNXSiOx
化合物半导体GaAsGaNInGaAs
其它光学材料、诱导体材料、金属膜等


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