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Best tools 匀胶显影一体机 SC100D
- 品牌：北京燕京
- 型号： SC100D
- 产地：朝阳区
- 供应商报价： 面议
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北京燕京电子有限公司
更新时间：2023-03-06 10:34:29 -
企业性质生产商
入驻年限第5年
营业执照已审核
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- 详细介绍
Best tools 匀胶显影一体机 SC100D
图片
简介
SC100D匀胶显影机是在SC100标准型匀胶机的基础上增加了显影系统，被设计为用来处理小片至8英寸晶圆尺寸基板或7英寸方形基板的匀胶及显影。
SC100D在SC100匀胶机上增加了显影液防溅罩，最多可配备四路喷淋系统，包括显影液和去离子水等，以及满足客户其他工艺要求的试剂。每一路自动喷液系统包括：喷嘴、喷嘴支架、气体控制阀、控制器、压力桶和配套连接管路等部件。
SC100D使用工业级伺服马达和高级PLC控制，7寸全彩触屏人机操作界面。设计结构紧凑、简单易用，可进行程控操作，具有优异的性价比。
规格参数
项目
参数
基板最 大直径
8英寸
转速
0~10000RPM可调
转速控制精度
1RPM
加速度
10-50000RPM/S（空载）
程序
可编程100组100步程序
运转最 大时长
3000S
时间设置精度
0.1S
显示
7”全彩触摸屏
机体材料
HDPE内腔，SUS外壳，耐溶剂PC透明盖
功能图解
SC100D 外形尺寸
应用系统
PDMS芯片制作
MEMS器件加工
- 产品优势
- SC100D匀胶显影机是在SC100标准型匀胶机的基础上增加了显影系统，被设计为用来处理小片至8英寸晶圆尺寸基板或7英寸方形基板的匀胶及显影。
SC100D在SC100匀胶机上增加了显影液防溅罩，zui多可配备四路喷淋系统，包括显影液和去离子水等，以及满足客户其他工艺要求的试剂。每一路自动喷液系统包括：喷嘴、喷嘴支架、气体控制阀、控制器、压力桶和配套连接管路等部件。
SC100D使用工业级伺服马达和高级PLC控制，7寸全彩触屏人机操作界面。设计结构紧凑、简单易用，可进行程控操作，具有优异的性价比。
