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膜厚测量仪
- 品牌：日本HalfMoon
- 型号： -
- 产地：日本
- 供应商报价： 面议
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上海瞬渺光电技术有限公司
更新时间：2022-01-12 15:50:35 -
企业性质
入驻年限第10年
营业执照
- 同类产品半导体研发测试(9件)
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- 详细介绍
产品特点：
?薄膜到厚膜的测量范围、UV～NIR光谱分析。
?高性能的低价光学薄膜测量仪。
?藉由反射率光谱分析膜厚。
?完整继承FE-3000高端机种90%的强大功能。
?无复杂设定，操作简单，短时间内即可上手。
?非线性最小平方法解析光学常数(n:折射率、k:消光系数)。
产品规格：
型号 FE-300V FE-300UV FE-300NIR 对应膜厚 标准型 薄膜型 厚膜型 超厚膜型 样品尺寸 最大8寸晶圆（厚度5mm） 膜厚范围 100nm~40μm 10nm~20μm 3μm~30μm 15μm~1.5mm 波长范围 450nm~780nm 300nm~800nm 900nm~1600nm 1470nm~1600nm 膜厚精度 ±0.2nm以内 ±0.2nm以内 - - 重复再现性(2σ) 0.1nm以内 0.1nm以内 - - 测量时间 0.1s～10s以内 测量口径 约Φ3mm 光源 卤素灯 UV用D2灯 卤素灯 卤素灯 通讯界面 USB 尺寸重量 280（W）×570（D）×350（H）mm，约24kg 软件功能 标准功能 波峰波谷解析、FFT解析、最适化法解析、最小二乘法解析 选配功能 材料分析软件、薄膜模型解析、标准片解析 应用范围：
?半导体晶圆膜(光阻、SOI、SiO2等)
?光学薄膜(OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等)
应用范例：
?PET基板上的DLC膜
?Si基板上的SiNx
