使用具有 50 nm 超高分辨率的光学标度，可降低传动系统误差。读头的固定设计减少了其内部电缆移动的麻烦。

为了确保最精确的轨迹控制，GTS 平移台具有配套的同类**防蠕动式交叉滚子轴承对。这些轴承中没有再循环元件，因此可以为最苛刻的扫描和检测系统提供充足的无波纹运动。而且，齿轮保持架会防止轴承罩移位，其他直线轴承产品可能出现此类移位。

预装低摩擦滚珠丝杠消除了粘滑效应，从而提供 100nm MIM 的超平滑运动。

Newport 保证根据 ASME B5.57 和 ISO 230-2 标准测量和记录的规格值。典型性能值比可保证值高出两倍。