PVA TePla 等离子去胶机

       该系列等离子去胶机外观简洁，系统高度集成化，采用模块化设计，可应用与半导体、生物技术、材料等各个领域。其先进的性能提供了出色的工业控制、失效报警系统和数据采集软件。可满足科研、生产等领域严格的控制要求。
        PVA TePla公司的高品质、高性价比、操作简单的等离子去胶机为各种不同应用领域提供了解决方案，得到用户的广泛信赖。

规格参数：
2.45GHz风冷微波电源（0～600W/0-1000W可调）/13.56MHz风冷射频电源（0～600W/0～300W/0～1000W可调）
石英/铝/陶瓷腔体，
zui多6路工艺气体，高精度不锈钢防腐蚀MFC控制，
1路保护性回填气体，1路驱动气体
兼容8英寸及以下晶圆
PC工控机控制，运行数据实时监控、存储
操作分级权限管理操作，防止误操作
图形化触控屏操作，运行状态实时显示
外形尺寸：775×749×781 mm / 737×1980×1118 mm
重量：134KG/ 350KG

可选配置：
可选配干泵、旋片泵、涡轮泵、罗茨泵
可选配法拉第桶
可选配水冷温控装置（冷却板、液体循环机）
可选配压力控制系统（1%精度真空规、压力控制系统）

应用领域:
去除光刻胶 
去除残胶 
SU-8灰化
晶圆和衬底的清洁
氮化硅、聚酰亚胺等的刻蚀
刻蚀钝化层 
逆向分析/失效分析中的器件开封
微量分析中低温材料灰化

公司主要研发、制造和销售的检测仪器有：电压击穿试验仪、高压漏电起痕试验仪、耐电弧试验仪、铁电材料测试仪器、介电常数及介质损耗测试仪、表面及体积电阻率测试仪、压电材料测试仪器、热电材料测试仪器、绝缘材料电性能检测设备、高温管式炉\反射炉\气氛炉、高温电性能测试设备、EST静电检测仪器、硅橡胶\绝缘子行业测试设备、PCB\三防漆电子材料测试、电气薄膜电学检测仪器、高低压电气材料测试设备、电线电缆行业电学测试设备、高分子材料电学测试仪器、热分析仪器、电气安规检测仪器、半导体芯片类测试仪器等，可接定制仪器订单。