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URE-2000 系列紫外单面光刻机
- 品牌:中科院
- 型号: URE-2000 系列
- 产地:成都
- 供应商报价: 面议
- 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 更新时间:2024-04-22 10:51:12
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企业性质生产商
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- 详细介绍
- URE-2000 系列紫外单面光刻机此系列包含六种型号:URE-2000A,URE-2000B,URE-2000/35,URE-2000/35A,URE-2000/25,URE-2000/17URE-2000/600 紫外光刻机1、设备主要技术指标:(1)光束口径: 650mm×650mm(2)有效曝光面积:600mm×600mm(3)分辨力:≤3μm(4)对准精度:±1.5μm(5)对准显微镜中心距:75mm-600mm 可调(6)掩模尺寸:650mm×650mm(7)样片尺寸:可适应Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 300mm×300mm;450mm×450mm;600mm×600mm,厚度为 0.2mm~20mm 的多种规格样片;(8)光源不均匀性:≥ 95%(Ф600mm)(9)掩模相对于样片运动行程:X: ±15mm; Y: ±15mm; Z:15mm Φ: ±10º(10)曝光面光强:>15mW/cm2(i、g、h 线)(11)汞灯功率:2500W(直流)(12)曝光量设定方式:定时(0.1s-9999.9s,设定精度 0.1s)2.技术主要组成部分大面积精细胶模图形结构成型机组成主要由:高均匀照明曝光系统、对准工件台系统、CCD 对准系统、计算机控制系统、气动控制系统及辅助设备构成。各系统构成与配置如下:(1)高均匀照明系统包括:。冷光椭球镜;。2500W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)。 XYZ 汞灯调节台;。光学系统:椭球反射镜、光栏、快门、平面冷光反射镜 1、平面冷光反射镜 ,2、蝇眼透镜组、抛物面冷光反射镜;。冷却风扇;。循环水冷系统。(2)对准工件台系统包括: 掩模样片相对运动台; 转动台; 样片调平机构,自动完成; 样片调焦机构,自动调整; 承片台 10 个:Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 及 300mm×300mm;450mm×450mm;600mm×600mm; 掩模夹 1 个:650mm×650mm; 抽拉式上下片机构。(3)CCD 对准系统包括: 光源、电源; 显微镜工作台; 成像光学系统(两套); 数据采集卡; CCD 图像处理部件(两套)。(4)电控系统包括: 大功率汞灯触发电源; 单片机控制系统; 薄膜开关面板; 控制柜桌;(5)气动系统包括: 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等; 电磁阀驱动部件; 气动显示仪表。(6)其他配套附件 真空泵一台(无油泵、SK-65C 型); 空压机一台(静音型、YB-W30 型); 水冷机一台(H35W 型); 配套接口管道二、URE-2000/A12 紫外光刻机1、设备主要技术指标:(1) 曝光面积: 300mm×300mm;(2)分辨力: ±2μm;(3)对准精度:±2μm;(4)掩模尺寸: 7 英寸、9 英寸、13 英寸;(5)样片尺寸: 6 英寸、8 英寸、12 英寸;(6)wafer chuck 表面:防止光反射涂层;(7)掩模样片整体运动范围:X:10mm;Y:10mm;(8)掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф : ±6°;(9)汞灯功率:1000W(直流);(10)曝光能量密度:≥ 10mW/cm 2 ;(11)曝光峰值波长:365nm;(12)光源平行度:<2°;(13)曝光方式:定时(0.1s—9999.9s);(14)光刻版夹具兼容性2.技术主要组成部分(1)曝光头系统包括: 冷光椭球镜; 德国 OSRAM1000W 直流高压汞灯; XYZ 汞灯调节台; 光学系统(冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜); 冷却风扇。(2)对准工件台系统包括: 掩模样片相对运动台;(XY),转动台; 样片调平机构; 样片调焦机构; 承片台 3 个: 6 英寸、8 英寸、12 英寸; 掩模夹 3 个: 7 英寸、9 英寸、13 英寸。(3)CCD 对准显微镜系统包括:4 倍显微镜 2 只;照明光源 2 套; CCD 相机 2 只;22 英寸液晶显示器。(5)电控系统: 汞灯触发电源(1000W); 单片机控制系统; 控制柜桌。(6)气动系统系统包括: 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关,电磁阀驱动,气动仪表等(7)其他配置与附件真空泵一台;空压机一台; 配套气管 10m;三、URE-2000/A8 紫外光刻机1、设备主要技术指标:(1) 曝光面积: 200mm×200mm;(2)分辨力:±2 μm;(3)对准精度:±2 μm;(4)掩模尺寸:5 英寸、7 英寸、9 英寸;(5)样片尺寸:4 英寸、6 英寸、8 英寸;(6)wafer chuck 表面:防止光反射涂层;(7)掩模样片整体运动范围:X:10mm;Y:10mm;(8)掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; Φ: ±6°;(9)汞灯功率:1000W(直流);(10)曝光能量密度:≥ 15mW/cm 2 ;(11)曝光峰值波长:365nm;(12)曝光方式:定时(0.1s—999.9s);(13)调平接触压力通过传感器保证重复(14)数字设定对准间隙和曝光间隙(15)具备压印模块接口,也具备接近模块接口2.技术主要组成部分(1)曝光头系统包括: 冷光椭球镜; 德国 OSRAM1000W 直流高压汞灯; XYZ 汞灯调节台; 光学系统(冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜); 冷却风扇。(2)对准工件台系统包括: 掩模样片相对运动台;(XY),转动台; 样片调平机构; 样片调焦机构; 承片台 3 个: 4 英寸、6 英寸、8 英寸; 掩模夹 3 个:5 英寸、7 英寸、9 英寸。(3)CCD 对准显微镜系统包括:4 倍显微镜 2 只;照明光源 2 套; CCD 相机 2 只;22 英寸液晶显示器。(5)电控系统: 汞灯触发电源(1000W); 单片机控制系统; 控制柜桌。(6)气动系统系统包括: 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关,电磁阀驱动,气动仪表等(7)其他配置与附件真空泵一台;空压机一台; 配套气管 10m;四、URE-2000A 型光刻机1.技术参数曝光面积:150mmX150mm曝光波长:365nm分辨力:0.8-1μm(胶厚 2 μm 的正胶)对准精度:±0. 6μm掩模样片整体运动范围:X:15mm;Y:15mm掩模尺寸:3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸样片尺寸:直径 ±15mm-- ±150mm(各种不规则片)厚度 0.1mm--5mm(可拓展至 15mm)曝光方式:定时,0.1s-9999s具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能照明不均匀性: 2.5%( ±100mm 范围),5%(±150mm 范围)双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍调平接触压力通过传感器保证重复数字设定对准间隙和曝光间隙具备压印模块接口,也具备接近模块接口掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; Φ: ±6 度最大胶厚:500 μm(SU8 胶)光源平行性:1.2°曝光能量密度:>18mW/cm2冷却方式:循环水+风冷曝光面温度:<30°C汞灯功率:1000W(直流,进口2.外形尺寸:1400mm(长)1200mm(宽) 1950mm(高)3.配置(1)曝光头冷光椭球镜1000W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型)XYZ 汞灯调节台冷却风扇光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(109 个透镜)、i 线滤光片、场镜1、场镜 2、冷光反射镜 1、反射镜 2循环水冷系统(2)对准工件台掩模样片整体运动台掩模样片相对运动台转动台样片调平机构,自动完成样片调焦机构,自动调承片台 4 个(2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸)掩模夹 4 个(3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸)基片抽拉式上下片机构(3)对准显微镜光源(配备品 2 只)、电源双目双视场对准显微镜主体目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)(4)CCD 对准系统(选配)光源(配备品 3 只)、电源成像光学系统(两套)数据采集卡三维工件台(两套)CCD(2 只)(5)电控系统汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)单片机控制系统控制柜桌计算机系统及液晶显示器(6)气动系统气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等电磁阀驱动气动仪表(7)其他附件真空泵一台(无油泵)空压机一台(静音泵)五、URE-2000B 型光刻机1.技术参数曝光面积:100mmX100mm曝光波长:365nm分辨力:0.8μm(胶厚 2μm 的正胶)对准精度:±0.6μm掩模样片整体运动范围:X:15mm;Y:15mm掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸样片尺寸:直径 ±15mm-- ±100mm(各种不规则片)厚度 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm)曝光方式:定时和定剂量具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能照明不均匀性: 2.5%(±100mm 范围)双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍物镜 3 对:4 倍、10 倍、20 倍; 目镜 3 对:10 倍、16 倍、20 倍调平接触压力通过传感器保证重复数字设定对准间隙和曝光间隙具备压印模块接口,也具备接近模块接口掩模相对于样片运动行程: X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф: ±6 度最大焦厚:600 μm(SU8 胶,用户提供检测条件)光源平行度:1.2º曝光能量密度:>20mW/cm汞灯功率:1000W(直流,进口)2.外形尺寸:1400mm(长)1200mm(宽) 1950mm(高)3.配置(1)曝光头冷光椭球镜XYZ 汞灯调节台冷却风扇1000W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(109 个透镜)、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2(2)对准工件台掩模样片整体运动台掩模样片相对运动台转动台样片调平机构,自动完成样片自动调焦机构承片台 4 个(15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸)掩模夹 4 个(2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸)基片抽拉式上下机构(3)对准显微镜及 CCD 对准系统光源、电源双目双视场对准显微镜主体目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)CCD21 英寸液晶显示器(4)电控系统汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)单片机控制系统控制柜桌(5)气动系统气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等电磁阀驱动气动仪(6)其他附件真空泵一台(无油泵)空压机一台(静音泵)管道(7)技术资料使用维修说明书。 显微镜使用说明书六、URE-2000/35 型光刻机1.技术特征——非常适合工厂(效率高,操作傻瓜型,自动化程度高)和高校教学科研(可靠性好,演示方便)采用自动找平,具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能,自动分离对准间隙和消除曝光间隙,采用 350W 进口(德国)直流汞灯,可调节光的能量密度。设备外形美观精制,性能非常可靠,自动化程度很高,操作十分方便。2.技术参数曝光面积:4 英寸曝光波长:365nm分辨力:0.8m对准精度:0. 8m掩模样片整体运动范围:X:15mm;Y:15mm掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸样片尺寸:直径 10mm-- 100mm(各种不规则片),厚度 0.1mm--5mm(可扩展为 15mm)曝光方式:定时和定剂量具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能照明不均匀性: 3%(100mm 范围)双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍调平接触压力通过传感器保证重复数字设定对准间隙和曝光间隙具备压印模块接口,也具备接近模块接口掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф : ±6º最大焦厚:400 μm(SU8 胶,用户提供检测条件)光源平行性:3.5 º曝光能量密度:>20mW/cm2,照明面温度<35 º单层曝光一键完成采用球气浮自动找平汞灯功率:350W(直流,进口汞灯)3.外形尺寸:1200mm(长)±900mm(宽) ±1750mm(高)4.配置(1)曝光头冷光椭球镜350W 进口直流高压汞灯(进口)XYZ 汞灯调节台冷却风扇光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(79 个透镜)、i 线滤光片、场镜1、冷光反射镜 1、反射镜 2(2)对准工件台掩模样片整体运动台掩模样片相对运动台转动台样片调平机构,自动完成基片抽拉式上下机构样片调焦机构,电机自动调承片台 4 个:±15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸(可按用户要求增减)掩模夹 4 个:3 英寸、4 英寸、5 英寸(可按用户要求增减)(3)对准显微镜光源(配备品 2 只)、 电源双目双视场对准显微镜主体目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)CCD 对准系统,21 寸液晶显示器(4)电控系统汞灯触发电源(350W 直流汞灯)单片机控制系统控制柜桌(5)气动系统气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等电磁阀驱动气动仪表(6)其他附件真空泵一台空压机一台管道七、URE-2000/35A 型光刻机1.技术特征——非常适合工厂(效率高,操作傻瓜型,全自动)和高校教学科研(可靠性好,演示方便)采用自动找平,具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能,自动分离对准间隙和消除曝光间隙,采用 350W 进口(德国)直流汞灯,可调节光的能量密度。设备外形美观精制,性能非常可靠,自动化程度很高,操作十分方便。2.技术参数曝光面积:6 英寸曝光波长:365nm分辨力:1-1.2μm(胶厚 2 μm的正胶)对准精度:±0.8μm掩模样片整体运动范围:X:15mm;Y:15mm掩模尺寸:3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸样片尺寸:直径 ±15mm-- ±150mm(各种不规则片),厚度 0.1mm--6mm曝光方式:定时和定剂量具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能照明不均匀性: 6%(±150mm 范围)双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍调平接触压力通过传感器保证重复数字设定对准间隙和曝光间隙具备压印模块接口,也具备接近模块接口掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф : ±6º最大焦厚:350μm(SU8 胶,用户提供检测条件)光源平行性:3.5 º曝光能量密度:>15mW/cm2,照明面温度<35 º单层曝光一键完成采用球气浮自动找平汞灯功率:350W(直流,进口)3.外形尺寸:1200mm(长)900mm(宽) 1750mm(高)4.配置(1)曝光头冷光椭球镜350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)XYZ 汞灯调节台冷却风扇光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(79 个透镜)、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2(2)对准工件台掩模样片整体运动台掩模样片相对运动台转动台样片调平机构,三点自动完成样片调焦机构,电机自动调基片抽拉式上下机构承片台 4 个:15mm 、3 英寸、4 英寸、6 英寸(可按用户要求增减)掩模夹 4 个:3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸(可按用户要求增减)(3)对准显微镜光源(配备品 2 只)、 电源双目双视场对准显微镜主体目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)CCD 对准系统,21 寸液晶显示器(4)电控系统汞灯触发电源(350W 直流汞灯)单片机控制系统控制柜桌(5)气动系统气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等电磁阀驱动气动仪表(6)其他附件真空泵一台空压机一台管道八、URE-2000/35L 型光刻机一、 主要技术参数:(1)曝光面积:100mm×100mm;(2)照明不均匀性: ±3%( ±100mm 范围);(3)分辨力:1.0μm(胶厚 2.0 μm 的正胶,365nm 波长)(4)对准精度:≤±0.8μm;(5)掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸;(6)样片尺寸:直径 ±15mm-- ±100mm、厚度 0.1mm--6mm;(7)掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф:±6°;(8)掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm(9)曝光光源:紫外 LED(进口);(10)曝光波长:365nm;(11)曝光强度:≥20mW/cm2;(12)曝光定时:(0.1s—9999.9s 任意设定).(13)调平接触压力通过传感器保证重复(14)数字设定对准间隙和曝光间隙(15)具备压印模块接口,也具备接近模块接口二、技术构成与配置设备由曝光头系统、对准工件台系统、CCD 对准显微镜系统、电控系统、气动系统等部分构成。(1)曝光头系统包括:◆ 进口紫外 LED 光源模块;◆ LED 光源整形模块;◆ XYZ 光源位置调节台;◆ 光学系统(含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组(79 个透镜)、场镜组、反射镜组);◆ 冷却风扇。(2)对准工件台系统包括:◆ 掩模样片相对运动台(XY);◆ 转动台;◆ 样片调平机构,采用三爪加球气浮自动调平方式;◆ 样片调焦机构,采用电机加传感器方式,可数字分离曝光间隙;◆ 承片台 4 个(15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸各 1 个);◆ 掩模夹 4 个(2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸各 1 个)。(3)CCD 对准显微镜系统包括:◆ 对准光源 LED 灯;◆ 双目双视场对准显微镜主体;◆ 目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个);◆ 物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个);◆ CCD 部件;◆ 22 英寸宽屏液晶显示器。(4)电控系统包括:◆ 单片机控制系统;◆ 紫外 LED 电源模块;◆ 控制柜桌。(5)气动系统包括:◆ 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关、电磁阀驱动、气动仪表等 。(6).辅助设备配置:◆ 真空泵 1 台(干泵);◆ 静音空气压缩机 1 台;◆ 配套接管 10m;(7).备品备件◆ 对准光源灯 4 只(LED-1W,不包括机器自带的两只);九、URE-2000/35AL 型光刻机一、 主要技术参数:(1)曝光面积:150mm×150mm;(2)照明不均匀性: ±4%( ±150mm 范围);(3)分辨力:1.0μm(365nm 波长)(4)对准精度:≤±0.8μm;(5)掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸;(6)样片尺寸:直径 ±15mm-- ±150mm、厚度 0.1mm--6mm;(7)掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф:±6°;(8)掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm(9)曝光光源:紫外 LED(进口);(10)曝光波长:365nm;(11)曝光强度:≥15mW/cm2 ;(12)曝光定时:(0.1s—9999.9s 任意设定).(13)调平接触压力通过传感器保证重复(14)数字设定对准间隙和曝光间隙(15)具备压印模块接口,也具备接近模块接口二、技术构成与配置设备由曝光头系统、对准工件台系统、CCD 对准显微镜系统、电控系统、气动系统等部分构成。(1)曝光头系统包括:◆ 进口紫外 LED 光源模块;◆ LED 光源整形模块;◆ XYZ 光源位置调节台;◆ 光学系统(含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组(79 个透镜)、场镜组、反射镜组);◆ 冷却风扇。(2)对准工件台系统包括:◆ 掩模样片相对运动台(XY);◆ 转动台;◆ 样片调平机构,采用三爪加球气浮自动调平方式;◆ 样片调焦机构,采用电机加传感器方式,可数字分离曝光间隙;◆ 承片台 4 个(2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸各 1 个);◆ 掩模夹 4 个(3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸各 1 个)。(3)CCD 对准显微镜系统包括:◆ 对准光源 LED 灯;◆ 双目双视场对准显微镜主体;◆ 目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个);◆ 物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个);◆ CCD 部件;◆ 22 英寸宽屏液晶显示器。(4)电控系统包括:◆ 单片机控制系统;◆ 紫外 LED 电源模块;◆ 控制柜桌。(5)气动系统包括:◆ 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关、电磁阀驱动、气动仪表等 。(6).辅助设备配置:◆ 真空泵 1 台(干泵);◆ 静音空气压缩机 1 台;◆ 配套接管 10m;(7).备品备件◆ 对准光源灯 4 只(LED-1W,不包括机器自带的两只);十、URE-2000/30 型光刻机1.技术特征高倍率双目双视场显微镜和 22 英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程,并提供 USB 输出;既满足高精度对准,又可用于检测曝光结果,且曝光结果和方便存储采用倒置式照明,更换汞灯更方便,散热和防漏光效果更好对准位和曝光位双工位工作,双工位自动切换采用嵌入式计算机+触摸屏操作,操作更方便,更时尚上下片、版十分方便,自动化程度高,操作简便。对高校教学科研(可靠性好,演示方便)及工厂(效率高)尤为适宜2.技术参数曝光面积:100mm×100mm(可升级为 6 英寸)曝光波长:365nm分辨力:≤1 μm(胶厚 1.5 μm 的正胶)对准精度:±0.6 μm显微镜扫描台运动范围:X:10mm;Y:10mm掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸样片尺寸:直径 ±15mm-- ±100mm(各种不规则片),厚度 0.1mm--6mm曝光方式:定时和定剂量具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能30照明不均匀性: 3%(±100mm 范围)双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍曝光对准双工位自动切换调平接触压力通过传感器保证重复数字设定对准间隙和间隙具备压印模块接口,也具备接近模块接口掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф: ±6º最大焦厚:400 μm(SU8 胶,用户提供检测条件)光源平行性:3 º曝光能量密度:>25mW/cm2,照明面温度<35 ºC单层曝光一键完成采用球气浮+三爪找平汞灯功率:350W(直流,进口)3.外形尺寸:1400mm(长)±900mm(宽) ±1500mm(高)4.配置(1)曝光头冷光椭球镜350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)XYZ 汞灯调节台冷却风扇光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(79 个透镜)、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2(2)对准工件台光刻机底座工位切换台(气缸)掩模样片整体运动台掩模样片相对运动台转动台样片调平机构,三点自动完成样片调焦机构,电机自动调基片抽拉式上下机构承片台 4 个:15mm 、40mm、60mm、100mm(可按用户要求增减)掩模夹 4 个:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸(可按用户要求增减)样片抽拉式上下机构(3)对准显微镜光源、 电源双目双视场对准显微镜主体目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)CCD 对准系统,22 寸液晶显示器(4)电控系统汞灯触发电源(350W 直流汞灯)单片机控制系统控制面板控制柜桌(5)气动系统气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等电磁阀驱动气动仪表(6)其他附件真空泵一台空压机一台配套接口管道十一、URE-2000/25 型光刻机1.技术参数曝光面积:4 英寸曝光波长:365nm分辨力:1 μm(胶厚 2 μm 的正胶)对准精度:±0.8μm掩模样片整体运动范围:X:15mm;Y:15mm掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸样片尺寸:直径 ±15mm-- ±100mm(各种不规则片),厚度 0.1mm--6mm曝光方式:定时和定剂量照明不均匀性: 3%( ±100mm 范围)双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍目镜三对:4 倍、10 倍、20 倍掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm;Ф : ±6º最大焦厚:350μm(SU8 胶,用户提供检测条件)光源平行性:3.5 º曝光能量密度:>20mW/cm2,照明面温度<35 º汞灯功率:350W(直流,进口)2.外形尺寸:1200mm(长)900mm(宽) 1750mm(高)3.配置(1)曝光头冷光椭球镜350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)XYZ 汞灯调节台冷却风扇光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(79 个透镜)、i 线滤光片、场镜1、场镜 2、冷光反射镜 1、反射镜 2(2)对准工件台掩模样片整体运动台掩模样片相对运动台转动台样片调平机构, 手动样片调焦机构,手动承片台 3 个(Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm)掩模夹 4 个(2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸)基片抽拉式上下机构(3)对准显微镜光源(配备品 2 只)、 电源双目双视场对准显微镜主体目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)CCD 及 21 英寸液晶显示器物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)(4)电控系统汞灯触发电源(350W 直流汞灯)单片机控制系统控制箱(5)气动系统气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等电磁阀驱动气动仪表(6)其他附件真空泵一台空压机一台管道十二、URE-2000/17 型光刻机(台式)1.技术参数曝光面积:4 英寸曝光波长:365nm分辨力:1.5μm(胶厚 2 μm 的正胶)对准精度:±1μm掩模样片整体运动范围:X:15mm;Y:15mm掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸样片尺寸:直径 ±15mm-- ±100mm,厚度 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm)曝光方式:定时和定剂量照明不均匀性: 5%(±100mm 范围)双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф: ±6 度汞灯功率:200W(直流)曝光能量密度:6mW/cm2.外形尺寸:650mm(长)±600mm(宽) ±900mm(高)363.配置(1)曝光头200W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)XYZ 汞灯调节台光学系统冷却风扇(2)对准工件台掩模样片整体运动台掩模样片相对运动台转动台样片调平机构,手动样片调焦机构,手动承片台 3 个(50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm )掩模夹 4 个(2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸)掩模抽拉式上下机构(3)对准显微镜光源(配备品 2 只)、电源双目双视场对准显微镜主体目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)CCD(台湾)21 寸液晶显示器(4)电控系统汞灯触发电源(200W 直流汞灯)单片机控制系统控制机箱(5)气动系统气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等电磁阀驱动气动仪表(6)其他附件真空泵一台管道
- 产品优势
- URE-2000 系列紫外单面光刻机,此系列包含六种型号:URE-2000A,URE-2000B,URE-2000/35,URE-2000/3,URE-2000/25,URE-2000/17