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Leica EM TIC 3X 三离子束切割仪

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Leica EM TIC 3X 三离子束切割仪 核心参数
仪器分类: 砂轮切割
详细介绍

高通量,提高成本收益

  • 可获得高质量切割截面,区域尺寸可达>4×1 mm。

  • 多样品台设计可一次运行容纳三个样品。

  • 离子研磨速率高,Si 材料 150 μm/h,50 μm 切割高度,可满足实验室高通量要求。

  • 可容纳最大样品尺寸为 50×50×10 mm。

  • 可使用的样品载台多种多样。

简单易用,高精度

  • 可简易准确地完成将样品安装到载台上以及调节与挡板相对位置的校准工作。

  • 通过触摸屏进行简单操控,不需要特别的操作技巧。

  • 样品处理过程可实时监控,可以通过体视镜或 HD-TV 摄像头观察。

  • LED照明,便于观察样品和位置校准。

  • 内置式,解耦合设计的真空泵系统,提供一个无振动的观察视野。

  • 可在制备好的平整的切割截面上可再进行衬度增强作用,即离子束刻蚀处理。

  • 几乎适用于任何材质样品。

  • 使用冷冻样品台,挡板和样品温度可降至-150 °C。

多种多样的样品载台

     几乎适合于各式尺寸样品,并适合于广泛用途。如用一个样品托,就可以完成前机械预制备(Leica EM TXP)至离子束切割(Leica EM TIC 3X),以及 SEM 镜检,然后再放入样品存储盒中以备后续检测。

衬度增强作用

     在离子束切割之后,无需取下样品,用同样的样品载台还可对样品进行衬度增强作用,可以强化样品内不同相之前的拓扑结构(如晶界)。

人体工学设计,简单易用;与LeicaEMTXP相兼容

技术参数

样品尺寸

可容纳样品尺寸50X50X10mm,可获得有效切割截面面积>4mmX1mm

表面抛光最大可容纳样品φ38mm,厚度12mm

离子枪

离子枪类型

3 只鞍式离子枪,独立电源控制。

离子束能量

1 keV - 10 keV

离子束电流

0.5 - 4.5 mA,0.1 mA 步长调节 (单个离子枪)

离子束密度

10 mA/cm2(单个离子枪)

切割速率(边缘 50 μm 处)

2.5 μm/min (100% Si:10 keV,3.5 mA)

阴极使用寿命

> 350 h(8 kV,3.0 mA)

工作气体

氩气,纯度 99.999%(也可以使用其他气体)。

输入气压 0.2 - 0.8 bar

观察系统

S6E(16771437):最大放大倍率(40 x)、分辨率(~ 12 μm)。

M80(16771438):最大放大倍率(77 x)、分辨率(~ 7 μm)。

M80(16771439):最大放大倍率(23 x)、分辨率(~ 3 μm)。
样品台

可选配:液氮制冷冷台-150°至30°,25L液氮罐及自动泵,具有自动快速制冷功能

可选配:三样品台,可一次连续处理三个样品

可选配:旋转样品台,用于对样品进行离子束抛光

环境条件

湿度

≤ 80%(无冷凝水)。

温度

15 °C - 30 °C

海拔

低于2000 m

设备污染指数(IEC 61010-1)

2



产品优势
Leica EM TIC 3X通过离子枪激发获得的离子束,以垂直于样品侧面纵向轰击样品,可获得高质量无应力“切割”截面,以用于扫描电子显微镜(SEM),显微结构分析(EDS,WDS,Auger,EBSD)和AFM研究、观察。
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