SPS 旋涂仪 SPIN150i

SPS 旋涂仪 SPIN150i

1、结构：
   * NPP-H（具有α晶的天然聚丙烯）的耐腐蚀结构）为整个系统提供更好的刚性和韧性
   *高品质无缝制造表面，全工程塑料
   *适用于通风柜和杂物箱
   *最大处理室直径：202毫米

2、数字电机控制：
    *具有数字增量速度信号的数字实时闭环控制伺服电机反馈
    *提供高精度的转速（±0.1 rpm）和宽范围的转速（1至12,000 rpm），这是传统PID电机控制器无法实现的

3、透明盖：
   淬火的透明玻璃瓶盖，带有注射器支架和N2扩散器，可在处理过程中进行N2吹扫
  *注射器支架可帮助用户始终在期望的相同位置和位置分配抗蚀剂/化学物质
  *控制室环境对于恒定的过程结果至关重要
  *坚固的自弹式盖铰链，可自动将盖保持在ZJ状态，以便轻松搬运和卸下基板；同时确保盖子上的任何残留化学物质都流入系统排水口
   *透明盖清晰可见内部

4、安全联锁：
    *Process Chambe Lid始终为所有用户安全锁定，并且仅在单击盖子打开显示图标时才能打开
    *电磁盖联锁在打开时停止旋转，而真空联锁（可编程）在没有足够真空或没有真空的情况下停止旋转
    *防止伤害使用者并避免基材破裂

5、连接：
  *三个可编程继电器输出，可用于操作自动分配系统，外部阀或其他附件。
  *多种夹头可供选择，用于直径最大为160 mm的不同尺寸的基板
  *制氮过程中的氮气扩散器
6、可拆卸控制器：可拆卸的全尺寸触摸屏，手套防护，IP 52，耐化学腐蚀
7、彩色触摸屏显示：可轻松编程速度，加速度和时间
8、无限程序存储：可用于多个步骤的配方，每个配方均适用于：
          *时间：0.1至99999秒/步
          *速度：0至12,000 rpm
          *旋转方向：顺时针，逆时针，搅动
          *加速/减速：1至30,000 rpm / sec（每步可选）
          *真空开/关
          *3个可编程的干触点：例如用于分配单元，氮气扩散器等的自动控制
9、USB端口：可轻松上传和下载配方以及更新软件版本
10、存储：结构化和受密码保护的方案存储，可轻松安全地进行管理