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日本雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC200

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日本雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC200 核心参数
自动化: 自动
详细介绍


小型桌上型高频等离子表面处理装置。

■ 操作性·功能
● 射频13.56Mhz 0-300W高功率机型,发生器自动匹配,无需调节反射波,进一步增加的操作的便捷性。
● 标准配备数字式皮拉尼传感器,实时显示真空度,使得控制更为精确。
● 平行平板腔体非常适合于实验室处理比较纯净的晶圆、硅片等样品,无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。

■ 安全性·保护
● 装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报jing灯,可实时监测和了解机器的运转状态。
● 装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能。

■ 产品优势
●等离子清洗机清洗效果好,清洗效率高,功率大,应用范围广。
●对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求。
●等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。
●gao效的特制电极,是产生均匀等离子体的保证。
●特制电极和托盘结构,可保证样品可得到全面有效的清洗。



■ 规格

型号

PDC200

方式

RIE模式、平行平板腔体

性能

发生器功率:

0-300W

发生器频率:

射频RF13.56Mhz

发生器匹配方式:

自动匹配(Auto matching)

构成

腔体材质:

铝制

腔体内尺寸:

W400×D250×H150mm

反应气体:

二路工艺气体,可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体。

控制方式:

全自动控制

真空度显示:

数字式皮拉尼传感器,实时显示腔体内真空度。

配管材质:

SUS不锈钢以及特氟龙

门:

                                            铰链门

外形尺寸:

W540×D600×H600mm

真空泵抽速:

4m3/hour

电源规格:

                                        AC220V  10A

重量:

约100kg


产品优势
小型桌上型高频等离子表面处理装置。
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