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Sigma 系列产品场发射扫描电子显微镜

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Sigma 系列产品场发射扫描电子显微镜 核心参数
电子枪: 钨灯丝
详细介绍

 德国蔡司Sigma 系列产品场发射扫描电子显微镜用于高品质成像与高级分析. 将高级的分析性能与场发射扫描技术相结合,利用成熟的 Gemini 电子光学元件。多种探测器可选:用于颗粒、表面或者纳米结构成像。Sigma 半自动的4步工作流程节省大量的时间:设置成像与分析步骤,提高效率。

 

Sigma 系列产品用于高品质成像与高级分析的场发射扫描电子显微镜.

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灵活的探测,4步工作流程,高级的分析性能

将高级的分析性能与场发射扫描技术相结合,利用成熟的 Gemini 电子光学元件。多种探测器可选:用于颗粒、表面或者纳米结构成像。Sigma 半自动的4步工作流程节省大量的时间:设置成像与分析步骤,提高效率。


Sigma 300 性价比高。Sigma 500 装配有YL的背散射几何探测器,可快速方便地实现基础分析。任何时间,任何样品均可获得JZ可重复的分析结果。

产品特点

用于清晰成像的灵活探测

  • 利用先进探测术为您的需求定制 Sigma,表征所有样品。

  • 利用 in-lens 双探测器获取形貌和成份信息。

  • 利用新一代的二次探测器,获取高达50%的信号图像。在可变压力模式下利用 Sigma 创新的 C2D 和 可变压力探测器,在低真空环境下获取高达85%对比度的锐利的图像。

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自动化加速工作流程

  • 4步工作流程让您控制 Sigma 的所有功能。在多用户环境中,从快速成像和节省培训首先,先对样品进行导航,然后设置成像条件。

  • 首先,先对样品进行导航,然后设置成像条件。

  • 接下来对样品感兴趣的区域进行优化并自动采集图像。ZH使用工作流程的ZH一步,将结果可视化。

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高级分析型显微镜

  • 将扫描电子显微镜与基本分析相结合:Sigma YL的背散射几何探测器大大提升了分析性能,特别是对电子束敏感的样品。

  • 在一半的检测束流和两倍的速度条件下获取分析数据。

  • 获益于8.5 mm 短的分析工作距离和35°夹角,获取完整且无阴影的分析结果。

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image.png基于成熟的 Gemini 技术

  • Gemini 镜头的设计结合考虑了电场与磁场对光学性能的影响,并将场对样品的影响降至更低。这使得即使对磁性样品成像也能获得出色的效果。

  • Gemini in-lens 的探测确保了信号探测的效率,通过二次检测(SE)和背散射(BSE)元件同时减少成像时间。

  • Gemini 电子束加速器技术确保了小的探测器尺寸和高的信噪比。

 

image.png用于清晰成像的灵活探测

  • 利用新的探测技术表征所有的样品。

  • 在高真空模式下利用创新的 ETSE 和 in-lens 探测器获取形貌和高分辨率的信息。

  • 在可变压力模式下利用可变压力二次电子和 C2D 探测器获取锐利的图像。

  • 利用 aSTEM 探测器生成高分率透射图像。

  • 利用 BSD4 或者 YAG 探测器进行成份分析。

Sigma 300 可提供

集成式 EDS 解决方案:在低能量分析应用中同时实现高清晰度成像

image.pngSigma Element 是一种集成式 EDS 解决方案,拥有高可用性和低电压灵敏度。仅需使用一台计算机来控制 EDS 和 SEM,进而大大提升了该集成化解决方案的易用性。同时,借助专门为显微镜和 EDS 操作设计的用户界面可实现并行控制。
• 集成化:通过集成化,结合高清晰成像与快速分析,从而获得不错结果
• 定制化:根据不同的用户需求定制软件
• 灵敏度:独特的氮化硅窗口增强低能X射线的探测灵敏度

 

拉曼成像与扫描电镜联用系统:完全集成化的拉曼成像

获取样品中化学结构的指纹信息:聚焦拉曼光谱成像可扩展您的蔡司Sigma 300 扫描电镜性能。 分析获得样品分子结构和结晶信息。 通过拉曼成像与EDS数据可进行3D 分析并与SEM图像关联。完全集成化的拉曼成像扫描电镜联用系统使你充分发挥SEM和拉曼系统的功能。image.png

 

 

 

 

 

技术参数

型号

Sigma 300

Sigma 500


电子源                                                                       Schottky 热场发射器

Schottky 热场发射器

分辨率* 30 kV(STEM)

1.0 nm

0.8 nm


分辨率*为15 kV

1.0 nm

0.8 nm


分辨率* at 1 kV

1.6 nm

1.4 nm


分辨率* 30 kV(VP模式)

2.0 nm

1.5 nm


反向散射检测器(BSD)                                  HD BSD

HD BSD

最大扫描速度                                                         50 ns /像素

50 ns /像素


加速电压                                                                   0.02 – 30 kV

0.02 – 30 kV


放大倍率                                                                    10× – 1,000,000×

10× – 1,000,000×


探针电流                                                                   3 pA - 20 nA(任选100 nA)

3 pA - 20 nA(任选100 nA)


图像帧库                                                                   32 k×24 k像素

32 k×24 k像素


端口

10

14


EDS端口

2(1个专用端口)

3(2个专用端口)


*ZJ工作距离; 在最安装,分辨率在1kV15kV高真空系统验测试中得到证实

真空模式

高真空


可变压力                                                                  

10 – 133 Pa


Stage 类型

5轴同心级

5轴偏心平台

5轴同心级选件

Stage X行程

125 mm

130 mm

125 mm

Stage Y行程

125 mm

130 mm

125 mm

Stage Z行程

50 mm

50 mm

38 mm

Stage T行程

-10到+90度

-4到+70度

-10到+90度

Stage R行程

360° 连续

360°连续

360° 连续

 

 


产品优势
德国蔡司Sigma 系列产品场发射扫描电子显微镜用于高品质成像与高级分析. 将高级的分析性能与场发射扫描技术相结合,利用成熟的 Gemini 电子光学元件。多种探测器可选:用于颗粒、表面或者纳米结构成像。Sigma 半自动的4步工作流程节省大量的时间:设置成像与分析步骤,提GX率。
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