美国New Scale 超小型平移台（亚微米，15mm，已集成电路）

产品介绍：

       AU- M3-LS系列位移平台，是一款集动力系统、位置传感器和控制器于一身的微型位移平台。其中动力系统采用目前很小的压电SQL-RV-1.8压降直线微电机（2.8 x 2.8 x 6 mm）和业界内很小的压电马达NSD-2101驱动IC（1.8 x 1.8 mm）。集成到定制模块上可以提供之前难以想象的运动性能。该直线微电机马达拥有较小的体积但可以提供更大的功率和稳定性。分辨率为0.5mm，精度是电磁马达的十倍。该马达没有齿轮和凸轮，直接提供直线移动的动力，并采用自锁设计，只有移动的时候才会耗电。因此比同等电磁马达的功耗降低40%

 
在紧凑的体积设计中该平台拥有完整的闭环反馈系统 。采用NSE-5310位置传感器，分辨率可达到0.5μm。该传感器芯片上集成数字编码器的磁传感器阵列，将磁性正弦波转换为数字直接输出。芯片上编码使用标准I2C协议提供直接数字输出，无需外部脉冲计数器。gao效的控制系统通信在单个I2C总线上允许两个位置传感器。另外该传感器对外部环境不敏感，可适用于光照、冲击、振动等极端条件。

为了使整个运动系统体积更紧凑，该平台把控制器集成到了该平台内。该模块将PID控制器集成到电路板上，只需要通过标准的I2C 或者SPI接口输入简单的串行命令就可以驱动该控制器。可以通过USB连接电脑，直接通过软件控制该微动台的运动。操作简单使用方便。

此外该微动台多个可组合成多轴运动的微动台。两个可以组合成X-Y轴运动的平台，三个可组合成X-Y-Z的多轴微动台。

目前该产品有两种不同类型的产品，行程分别为6mm和15mm。

u  产品主要特点
l  超小体积 （29 x 20 x 10 mm）
l  无需外加控制器
l  大行程（15mm）
l  高分辨率（0.5μm）
l  坚固性优
l  高重复性
l  低功耗 （工作时l  可组成多轴微动台
l  可直接从USB适配运行


u  主要应用
手持和便携设备、便携式yi疗设备、微型显微镜、光谱学、微器件装配、生物医学探测和抽样、高分辨率调谐系统、无人机/地面车辆控制和光学、微型相机系统等。