日本新宇宙XP-703D 泄漏检测（半导体用）

型号

　XP-703D

检测原理

　热线型半导体式

检测对象气体

　半导体材料气体（砷化三氢、磷化氢、乙硼烷、硅烷等）

能检测的泄漏量



能检测的浓度

　 砷化三氢

　
AsH3

　
1.0 ×10-7

　
0.2　　　　　　　　　　

　磷化氢

　
PH3

　
1.5 ×10-7

　
0.3

　乙硼烷

　
B2H6

　
0.5 ×10-7

　
0.1

　硅烷

　
SiH4

　
2.5 ×10-7

　
0.5

　氢气

　
H2

　
5 ×10-7 Pa·m3 /s

　
1.0 ppm

应答时间

　10秒

检测表示

　蜂鸣器发出断续音且报警灯闪烁

电源

　5号锰干电池4节

电池使用时间※1

　使用碱性干电池使用约9小时（使用锰干电池约3小时）

使用温度范围

　0℃~40℃

外形尺寸

　W68×H155×D32mm

重量

　约400g（包括电池）

附件

　皮套、吸引过滤器、过滤片、检查气体、标准辅助橡胶管、5号锰干电池4本

另售的选购品

　Ni-Cd电池专用充电器、耳机