供应商：北京昊然伟业光电科技有限公司

1.非接触式技术检测抛光平面和球面的精度(功率、不规则度) ⒉.测试表面半径 3.检测目标传输波前畸变(TWD)

供应商：英国雷尼绍公司(Renishaw)

仪器简介：Renishaw的新型XL-80激光干涉仪能够满足和超越实际工业规范水平，提供4m/s最大的测量速度和50kHz记录速率。即使在最高的数据记录速率下，系统准确性可达到±0.5ppm（线性模式）和1纳米的分辨率，这些改进意味着工程师仍能使用可溯源性激光干涉的独特优势，帮助解决现代化机器设计问题。 系统精度比原有的对应产品ML10激光系统有所提升，在整个日常温度、气压和湿度不同工作环境下，均可达到±0.5ppm的精度。环境读数使用XC-80智能传感系统进行读取，每7秒更新一次激光读数补偿值。

供应商：深圳市中图仪器股份有限公司

产业发展和升级使得微电子、微机械、光学和现代超精密加工工业对检测精度的要求越来越高，同时要求更大的检测量程，而其他检测方法难以胜任，只有激光干涉检测技术可以在大量程内达到较高的测量精度，所以在制造领域得到广泛应用。在航空器的研制、试验、生产过程中，运用到大量的精密直线位移传感器，激光干涉仪可以对这些传感器进行JING准的检测中图仪器推出的SJ6000激光干涉仪，采用高稳频氦氖激光器、双纵模热稳频技术、多参数环境补偿技术、高速数字信号处理系统等技术，通过与不同的光学组件结合，实现对直线度、垂直度、角度、平面

供应商：青岛森泉光电有限公司

提供5种型号，光束直径范围从1到50 mm 定性地确定光的准直性 磁铁球将板固定在底座上 适用的光束直径刻在板上

供应商：英国雷尼绍公司(Renishaw)

仪器简介： ML10Gold高性能激光干涉仪是机床、三坐标测量机及其它定位装置精度校准 用的高性能仪器。由于采用了独特的ZG设计及zuixin的光电子技术，使ML10Gold 激光干涉仪比市场上其它型号的激光干涉仪具有更高的性能和更先进的任选功能。 ML10Gold激光干涉仪提供有进行机器位置、几何精度测量的全套光学器件。 ML10Gold激光测量系统所有功能都设计与Laser10软件配合使用。除了测 量和分析诊断功能外，此软件包的标准配置还包括

供应商：英国雷尼绍公司(Renishaw)

仪器简介： QC10球杆仪是雷尼绍公司提供的用于机床精度校准量仪中的一种新仪器,既可 单独使用,又可以与激光干涉仪互补使用.QC10球杆仪是评价机床动态轮廓精度的 精密仪器.该项重要技术迅速地被国际上机床检验标准所采纳,如ISO230和美国 ANSIB5.54等. 该项快速简单的检测,可提供出机床各种误差的数据,并对其进行自动分析, 给出各种误差优化表. 众多的机床用户一致认为QC10球杆仪系统为其定期检测机床工作性能提供了

供应商：英国雷尼绍公司(Renishaw)

仪器简介：Renishaw的新型XL-80激光干涉仪能够满足和超越实际工业规范水平，提供4 m/s最大的测量速度和50 kHz记录速率。即使在最高的数据记录速率下，系统准确性可达到±0.5ppm（线性模式）和1纳米的分辨率，这些改进意味着工程师仍能使用可溯源性激光干涉的独特优势，帮助解决现代化机器设计问题。 系统精度比原有的对应产品ML10激光系统有所提升，在整个日常温度、气压和湿度不同工作环境下，均可达到±0.5 ppm的精度。环境读数使用XC-80智能传感系统进行读取，每7秒更新一次激光读

供应商：英国雷尼绍公司(Renishaw)

XR20-W是雷尼绍技术成熟的RX10回转轴校准装置的全新替代产品，对于大量采用四轴、五轴高端机床的制造业用户来说，无疑为其回转轴的精度检测提供了全新的利器。在过去15年中，RX10是公认的对回转轴进行高精度和高重复性性能评估的强大工具。XR20-W经过全新设计，具有灵活性强、使用方便、测量速度快及完全无线操作等优点。 XR20-W无线型回转轴校准装置集雷尼绍独有的先进轴承和光栅技术以及蓝牙（Bluetooth）无线技术等特点于一体。与现有的RX10相比

供应商：英国雷尼绍公司(Renishaw)

雷尼绍宣布继信誉良好的QC10球杆仪系统之后推出新一代产品。QC10球杆仪在全球广泛应用于机床精度和伺服控制性能评估。 QC20-W球杆仪采用雷尼绍全新设计、开发的直线位移传感器和蓝牙 (Bluetooth) 无线技术。这种设计具有使用方便和耐用性强的优点，从而使QC20-W可用于“防护门关闭”状态下进行测试，此前同类有连线的系统需在“防护门开启”状态下测试，可能造成安全和程序上的问题。 &

供应商：英国雷尼绍公司(Renishaw)

鉴于回转轴精度的重要性，最近地国家和国际标准均制定了严格的回转轴测量规范。RX10与XL-80或ML10激光系统（及角度测量光学镜组）组合使用时，回转轴校准精度可达到1秒。 一个控制装置将RX10与您的PC和XL-80或ML10连结起来，实现全自动测试。25分钟内即可对回转轴做一次完整检查，比自准直仪和多面棱体等传统方法节约了5个多小时的时间。快速自动校准 转台的锁定、解锁和旋转运动均为电动，能够实现自动准直和跟踪，无需操作人员

供应商：上海昭沅仪器设备有限公司

在科学技术飞速发展的信息时代，光电技术、信息技术（IT）和集成电路技术（IC）在各个领域不断产生新的应用。其中，光纤技术在通信和传感领域的广泛应用，已经体现出依靠“电”进行信息提取和传输的方式所无法比拟的优势。光纤通信和光纤传感技术作为新的激光应用技术，已经成为工程应用和研究热点。由于光纤技术发展迅速，能够作为研究开发平台的仪器很少，一般一套设备只能完成一个功能。测SY设备不能作为功能设备使用，功能性设备不具备测SY条件。为了改变光纤技术研究中存在的设备单一状况，研究开发了“全光纤多功能研究开发平台”。&

供应商：美国自动精密工程公司

在5个自由度上测量、分析主轴误差的短、长期变化，是识别和控制机床主轴热变形的根本工具。

供应商：美国自动精密工程公司

Spindlecheck主轴动态误差分析仪是API公司发明的、符合ASME B5.54标准、用于测量机床主轴运动误差的高品质仪器。

供应商：美国自动精密工程公司

检查、校准加工ZX旋转轴偏摆角和倾斜角。

供应商：美国自动精密工程公司

无线操作，快速评价、诊断CNC精度。

供应商：美国自动精密工程公司

一次安装即可同时测得6个参数（1个位置度误差、2个直线度误差、3个角度误差），工作效率提升5倍！

供应商：深圳市中图仪器股份有限公司

一.激光干涉仪概述激光干涉仪是激光在计量领域中成功的应用之一，利用光的干涉实现测量，具有非接触、无损检测的特点，在不同领域都有极为广泛的应用，如利用F-P干涉仪和半导体激光二极管测量大型精密离心静态臂长；利用电子散斑干涉技术实现物体表面微小形变的非接触式测量、李永干涉合成孔径雷达实现对地表变形进行测量；利用相干梯度敏感干涉测量技术对静态断裂现象的测量；利用非共面多光束干涉可以在空间形成二维或三维周期性强度分布，从而被用来制作二维或三维光子晶体；利用全息干涉技术可用于位移及形变测量、应变与应力分析、缺陷或损

供应商：深圳市中图仪器股份有限公司

一.激光干涉仪概述SJ6000激光干涉仪产品采用高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组与激光配合，得到不同的干涉信号，然后通过高精度激光干涉信号处理系统得到干涉数据，将数据通过计算机进行显示和动态分析。SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速

供应商：杭州谱镭光电技术有限公司

瞬态(近红外)激光波前畸变检测干涉仪是将空间位相调制的共路剪切干涉技术与数字化波面高新计算技术相结合研制的新颖干涉系统，是浙江大学光电系现代光学仪器ZD实验室、杨甬英等教授集多年基础、数年攻关完成的目前国内首台利用干涉方法仅需单幅干涉图就可以高分辨率检测各类高、低功率的脉冲激光、连续光波前畸变、检测各类高精度大口径精密表面的面形、动态检测各种流体的变化等。仪器抗噪、抗干扰性好特别适合于现场的实时检测。波前及面形的检测分辨率高，可高精度测量较大的波前畸变量，可以用于瞬态图象高速采

供应商：科德数控股份有限公司

　　角度干涉镜放在激光头和角度反射镜之间的光路上。对于沿水平轴的俯仰测量，两个光学元件都是垂直放置的，对于扭摆测量，两个光学元件都是水平放置的。激光光束经角度干涉镜的分光镜分为两束 A1 和 A2，光束 A1 直接穿过干涉镜并从角度反射镜的下半部反射回激光头；光束 A2 通过角度干涉镜的潜望镜射到角度反射镜的另一半后，再通过角度干涉镜反射回到激光头。角度测量是通过比较 A1 和 A2 之间的光程差完成的，即角度测量与激光头和角度反射镜之间的距离，以及两个光学元件之间的距离无关。

供应商：深圳市中图仪器股份有限公司

SuperViewW1白光干涉3d表面轮廓仪在同等放大倍率下，测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。可覆盖8英寸及以下晶圆，定制版真空吸附盘，稳定固定Wafer；气浮隔振+壳体分离式设计，隔离地面震动与噪声干扰。

供应商：深圳市中图仪器股份有限公司

中图仪器SJ6000激光干涉仪测量仪具有测量精度高、测量速度快、高测速下分辨率高、测量范围大等优点。可以通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、平面度、垂直度、角度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，SJ6000激光干涉仪测量仪还可以对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有高精度和效率，而且及时处理数据，为机床误差修正提供依据。测量