干涉仪

采集方式 相移 波长 3.39um 10.6um 精确度 0.01λ 分辨率 640*512 口径 75-200mm

FUJINON F601 G102 FI251等富士干涉仪激光管维修和更换 品牌：FUJINON 型号：F601 货号：ZB2019122300123 装修及施工内容：安装工程

Veeco/WYKO HD3300白光干涉仪 微观形貌分析设备 纳米级高分辨率 产品信息 品牌：Veeco/WYKO 型号：HD3300

现场GX球面检测干涉仪（数字化相移分析系列）是一种高性能模块化组合检测干涉仪。它采用国内外SC的组合式激光干涉模块作为核心部件，主要用于检测高精度快速球面和曲率半径球面面形。通过模块化的设计理念，针对不同的光源、镜头口径、成像方式，不仅在测量过程中拆卸方便，也可适用于多种被测面的测量，大大降低检测成本。通过慧利仪器专用软件，可对被测对象实时采样和分析，并形成2D和3D图形。 现场GX球面检测干涉仪（数字化动态分析系列）采用斐索干涉原理，是一款在生产和质量控制中均能提供高精度表面检测的干涉仪。该产品经过优良的光学系统设计、稳定的动态分析软件、精密的系统装备，使其具备良好的抗振性能，适用于光学加工现场、光学车间的大批量检验，这使得客户在提高产品质量的同时，也能节省成本投入。

无应力平面检测干涉仪（数字化相移分析系列）是高性能模块化组合检测干涉仪中的一种，它采用国内外SC的组合式激光干涉仪作为核心部件，主要用于GX检测高精度平面，该产品包括光源、主机、成像以及镜头和相移等四大模块，主要技术指标已达到国际YL水平，采用更加简便操作的俯式测量，其拥有极高的JD测量精度PV和JD测量重复性RMS，并突破了一等平面平晶限制，且其采样点可达上百万像素，能客观反映被测平面全貌。不仅测量精度高，而且具有极高的测量效率。此款干涉仪可广泛应用高精度光学元件制造、计量检测、生物医学、航空航天、国防、微电子、能源等众多领域，具有广阔的市场前景。 无应力平面检测干涉仪（数字化动态分析系列）是一款具有在振动环境下测试能力和共光路特点的斐索型激光干涉仪。该干涉仪经过特殊的光学设计，配备慧利仪器自主开发的H&L Analysis 动态分析软件，以及传统激光干涉仪互配的各种附件，这使得该干涉仪在传统技术无法进行测试的环境中，仍能提供高速稳定的检测。该产品不仅具有广阔的市场前景，而且填补了制造业和国家质检部门对高精度平面检测设备需求的空白。

1、动镜、定镜框采用铝质黑砂工艺，新型二维调节架调节，调节旋钮M6X0.5mm铜质螺纹对应铜质座套，舒适灵活，耐磨损，用于演示和观察干涉现象； 2、精密微调连续可调，动镜测量范围0-100mm； 3、微动手轮分度值为0.0001mm； 4、波长测量精度：当条纹计数为100时，测定单色光波长的相5、导轨直线性误差为±16″； 6、分光板、补偿板的平面度为λ/20； 7、移动镜、参考镜的平面度为λ/10，采用二维调节镜架 包括：法布里-珀罗多光束系统

1、动镜、定镜框采用铝质黑砂工艺，新型二维调节架调节，调节旋钮M6X0.5mm铜质螺纹对应铜质座套，舒适灵活，耐磨损，用于演示和观察干涉现象； 2、精密微调连续可调，动镜测量范围0-100mm； 3、微动手轮分度值为0.0001mm； 4、波长测量精度：当条纹计数为100时，测定单色光波长的相对误差＜2%； 5、导轨直线性误差为±16″； 6、分光板、补偿板的平面度为λ/20； 7、移动镜、参考镜的平面度为λ/10，采用二维调节镜架。