臭氧（O₃）又称为超氧，是氧气（O₂）的同素异形体，在常温下，它是一种有特殊臭味的淡蓝色气体。臭氧主要存在于距地球表面20~35公里的同温层下部的臭氧层中。在常温常压下，稳定性较差，可自行分解为氧气。臭氧具有青草的味道，吸入少量对人体有益，吸入过量对人体健康有一定危害（不可燃，纯净物）氧气通过电击可变为臭氧。
臭氧应用浓度按安全浓度空气、应用浓度、水中应用浓度介绍如下：
一、 安全浓度：
人们允许接触的臭氧浓度不大于0.2mg/m3。
1）臭氧工业卫生标准： 国际臭氧协会： 0.1ppm，接触10小时 美 国： 0.1 ppm，接触 8小时 德、法、日 本： 0.1 ppm
2）家用臭氧消毒柜外臭氧泄漏量不得超过0.2mg/m3（指1.5米以外），消毒一个周期后残留浓度不得大于0.3mg/m3。
3）动物试验表明，臭氧毒性的起点浓度为0.3ppm，而人对空气中臭氧可嗅知的浓度为0.02～0.04ppm，根据臭氧对肺功能毒性的试验结果，提出1.5～2.0ppm为臭氧允许浓度的上限。卫生部规定臭氧Z高允许浓度为0.3mg/m³(0.15ppm)。
二、空气应用浓度：
作为空气除味与杀菌，要求臭氧浓度较低，如0.25ppm（0.5mg/m³），而物品表面消毒（杀灭微生物和去除化学污染）则要求提高几十倍的臭氧浓度。
空气应用臭氧浓度一般在1mg/m³～10mg/m³之间。温度低，湿度大则杀灭效果好，尤其是湿度，相对湿度小于45%，臭氧对空气中悬浮微生物几乎没有杀灭作用。在60%时才逐渐增强，在95%时达到Z大值。
1)用臭氧消毒食品加工车间，0.5～1.0ppm即可杀灭空气中的80%的自然菌。
2)冷库消毒要求臭氧浓度6～10ppm，停机后封库24小时以上细菌杀灭率90%左右，霉菌杀灭率80%左右。
3)在水果贮藏期间，可用2～3ppm的臭氧可使霉菌的生长受到YZ，贮藏期可延长一倍。
三、水中应用浓度：
1）水应用中臭氧溶解度在0.1mg/L～10mg/L之间。低值作为水消毒净化要求的Z低浓度，高值作为“臭氧水消毒剂” 可达到的浓度值。
2）自来水臭氧净化，国际常规标准为0.4mg/L的溶解度值，保持4分钟，即CT值为1.6。
水中余臭氧浓度保持在0.1～0.5mg/L作用5～10min可达消毒目的。臭氧水消毒灭菌是急速的，消毒作用在瞬间发生。清水中臭氧浓度一旦达到，在0.5～1分钟内就杀死细菌，在浓度达4mg/L，在1分钟内乙肝病毒灭活率为。20℃条件下，水中臭氧浓度达0.43mg/L时，可将大肠杆菌杀灭，10℃时仅需0.36mg/L即可全部杀灭。臭氧浓度为0.25～38mg/L时，仅需几秒或几分钟完全灭活甲型肝炎病毒（HAV）。
3）矿泉水中臭氧溶解度在0.4～0.5mg/L时，即可满足杀菌保质要求。合理的臭氧投放量为1.5～2.0mg/L。
4）瓶装水处理应达0.3～0.5mg/L的臭氧溶解度值，要求投加臭氧应满足 1m³水2gO₃的发生量。根据实践经验，臭氧发生浓度高于8mg/L时容易达到浓度。
