为什么说俄歇电子能谱分析是一种表面分析方法，且空间分辨率高？

pan348268 2018-04-12 俄歇电子能谱浏览 519 次

精彩问答

辰锻捕发布日期：2018-04-12

大多数元素在50~1000eV能量范围内都有产额较高的俄歇电子，它们的有效激发体积（空间分辨率）取决于入射电子束的束斑直径和俄歇电子的发射深度。
能够保持特征能量（没有能量损失）而逸出表面的俄歇电子，发射深度于表面以下大约2nm以内，约相当于表面几个原子层，且发射（逸出）深度与俄歇电子的能量以及样品材料有关。
在这样浅的表层内逸出俄歇电子时，入射电子束的侧向扩展几乎尚未开始，故其空间分辨率直接由入射电子束的直径决定。

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