概述各种真空检漏方法

真空检漏法主要有静态升压法、真空计法、质谱计法等等方法，本文就这些检漏方法的条件、现象、所用设备及其灵敏度进行相关介绍。 检漏方法 工作压力[Pa] 现 象 设 备 Z小可检漏率[Pam3／s]
静态升压法 抽真空后封闭，压力上升 真空计 10-5～10-6
放电管法 放电颜色改变 放电管 10-3～10-4
高频火花检漏器法 103～10-1 亮点，放电颜色改变 高频火花检漏器 10-3～10-4
真
空
计
法 热传导真空计法 103～10-1 施用示漏物质真空
计读数变化 热偶或电阻真空计 10-6
电离真空计法 10-2～10-6 电离真空计 10-9
差动热传导真空计法 103～10-1 热传导真空计差动组合 10-7
差动电离真空计法 10-2～10-6 电离真空计差动组合 10-10
有吸附阱的热传导真空计法 103～10-3 液氮冷却活性炭阱，
热传导计 10-7
有吸附阱的电离真空计法 10-2～10-6 液氮冷却硅胶阱，
冷阴极电离计 10-11～10-13
氢钯法 7×101～10-5 氢气通过钯管进入
真空规，读数变化 钯管，电离计 10-7～10-11
离子泵检漏法 10-5～10-7 示漏物质使离子流变化 离子泵 10-9～10-12
卤素检漏仪内探头法 10～10-1 输出仪表读数变化 卤素检漏仪 10-7～10-9
氯质谱检漏仪法 10-2 输出仪表读数及
声响频率变化 氦质谱检漏仪 10-12～10-14
质
谱
计
法 射频质谱计法 10-2～10-4 施用示漏物质输出
仪表读数变化 射频质谱计 10-6～10-11
回旋质谱计法 10-3～10-7 回旋质谱计 10-7～10-12
四极滤质器 10-1～10-4 四极滤质器 10-10～10-11